Autosamdri-815B, Series C 臨界點(diǎn)干燥儀
- 4”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點(diǎn)干燥儀;
- 內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
- Post-Purge 過濾器容易更換及維護(hù);
- 內(nèi)置SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
- 的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時間達(dá)到;
- 可以一次干燥5片直徑為4”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑3”、2”的圓晶或5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
- 內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
- 通過微處理控制器來保證自動處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性;
- 所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
- 可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;
- 集成自動控溫;
- 內(nèi)置圓盤裂片保證安全;
- 靜態(tài)壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
- 0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
- 每個操作模式LED顯示,一目了然;
- 潔凈室和防靜電兼容設(shè)計;
- 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);
規(guī)格:
- 外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
- 安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
- 樣品室尺寸:內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,樣品室容積:326 ml;
- 溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
- LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型微型計量閥門來控制;
- 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標(biāo)準(zhǔn)配件:
- 高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
- 外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
- 安裝工具;
- 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
- 內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門
- 樣品室O型圈3個,樣品室照明燈2個,3A和8A保險絲各2個;
- 3個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括4、3、2和1.25英寸;
- 直徑為4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
- 流量計,可精確控制BLEED的排氣速率;
- 用戶手冊;
- 所有部件一年質(zhì)保。