ALD/PEALD原子層沉積系統(tǒng)-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化，為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國(guó)ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

點(diǎn)擊展示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

美Nano-master ALD/PEALD原子層沉積：NLD-4000 獨(dú)立式ALD系統(tǒng)NLD-3500 緊湊型獨(dú)立式ALD系統(tǒng)NLD-3000 臺(tái)式ALD系統(tǒng)

ALD/PEALD原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

美Nano-master ALD/PEALD原子層沉積系統(tǒng)：

NLD-4000 獨(dú)立式ALD系統(tǒng)

NLD-3500 緊湊型獨(dú)立式ALD系統(tǒng)

NLD-3000 臺(tái)式ALD系統(tǒng)

NLD-4000是一款獨(dú)立式計(jì)算機(jī)控制的ALD系統(tǒng)，全自動(dòng)工藝控制并包含完整的安全連鎖功能，能夠沉積半導(dǎo)體應(yīng)用中的氧化物和氮化物（比如AlN, GaN, TaN, TiN, Al2O3, ZrO2, LaO2, HfO2），支持太陽能和MEMS等眾多領(lǐng)域的應(yīng)用。

系統(tǒng)包含一個(gè)13”的鋁質(zhì)反應(yīng)腔體，具有加熱腔壁和氣動(dòng)升降頂蓋，可一鍵式實(shí)現(xiàn)頂蓋的開啟/閉合，便于放取片。隨系統(tǒng)配套手套箱，可以支持最多七路加熱或冷卻的50cc容器用于前驅(qū)體或者反應(yīng)物，并集成了快速脈沖傳輸閥用于氣體脈沖輸出。沒有反應(yīng)掉的前驅(qū)體將被加熱過濾器所捕捉，該過濾器安裝在腔體排風(fēng)口。

工藝程序、溫度設(shè)定值、氣體流量、抽真空卸真空工序，以及傳輸管路的吹掃均通過LabView軟件全自動(dòng)控制。

選配項(xiàng)包含自動(dòng)上下片（系統(tǒng)占地面積不變）、遠(yuǎn)程平面ICP等離子源用于等離子增強(qiáng)ALD（平面ICP的構(gòu)造確保小的反應(yīng)腔體容積，這實(shí)現(xiàn)更快的循環(huán)時(shí)間），以及渦輪分子泵用于更低的極限真空。

特點(diǎn)：

** 低于1Å的均勻度
** 優(yōu)化的13”陽極氧化鋁腔體
** 小反應(yīng)腔體容積確保快速的循環(huán)時(shí)間并提高產(chǎn)能
** 可支持8”的基片
** 400°C基片加熱器
** 隨系統(tǒng)配套前驅(qū)體手套箱
** 做多支持七路50cc前驅(qū)體容器
** 300L/Sec抽速的磁懸浮分子泵組
** 極限真空可達(dá)5x10-7Torr
** 快速脈沖氣體傳輸閥
** 大面積過濾器用于捕捉未反應(yīng)的前驅(qū)體
** 高深寬比結(jié)構(gòu)的涂覆
** 全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制，菜單驅(qū)動(dòng)
** LabVIEW友好用戶界面
** EMO和安全互鎖
** 占地面積僅24”x44”帶封閉面板的柜體對(duì)超凈間很理想

選配：

** 下游式平面ICP遠(yuǎn)程等離子源用于PE-ALD工藝
** RF離子源用于無需要求超高密度的PE-ALD工藝
** 自動(dòng)上下片
** 增加額外的前驅(qū)體

應(yīng)用：

** 高K介質(zhì)
** 疏水性涂覆
** 鈍化層
** 高深寬比擴(kuò)散阻擋層的銅連接
** 微流控應(yīng)用的保形性涂覆
** 燃料電池中諸如催化層的單金屬涂覆

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 手套箱過濾器加熱器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
芬蘭Picosun原子層沉積系統(tǒng)	面議	廣州市	廣州納儀科技有限公司	2024-05-12	在線詢價(jià)
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-19	在線詢價(jià)
P-300B 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-17	在線詢價(jià)
R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-15	在線詢價(jià)
R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-13	在線詢價(jià)
大尺寸原子層沉積系統(tǒng) 技術(shù)成熟放心選購(gòu)	面議		北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司	2023-10-03	在線詢價(jià)

免責(zé)申明

所展示的信息由會(huì)員自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)，儀表網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何責(zé)任。儀表網(wǎng)不涉及用戶間因交易而產(chǎn)生的法律關(guān)系及法律糾紛，糾紛由您自行協(xié)商解決

友情提醒：本網(wǎng)站僅作為用戶尋找交易對(duì)象，就貨物和服務(wù)的交易進(jìn)行協(xié)商，以及獲取各類與貿(mào)易相關(guān)的服務(wù)信息的平臺(tái)。為避免產(chǎn)生購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。過低的價(jià)格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息，請(qǐng)采購(gòu)商謹(jǐn)慎對(duì)待，謹(jǐn)防欺詐，對(duì)于任何付款行為請(qǐng)您慎重抉擇！如您遇到欺詐等不誠(chéng)信行為，請(qǐng)您立即與儀表網(wǎng)聯(lián)系，如查證屬實(shí)，儀表網(wǎng)會(huì)對(duì)該企業(yè)商鋪?zhàn)鲎N處理，但儀表網(wǎng)不對(duì)您因此造成的損失承擔(dān)責(zé)任！

相關(guān)產(chǎn)品分類更多+