CSPM5500系列掃描探針顯微鏡納米加工系統(tǒng)
精確的路徑位移定位 自定義圖形加載功能 可以在納米級尺度上加工任意需要的復(fù)雜結(jié)構(gòu) | |||
| |||
圖形刻蝕模式 | |||
利用電致刻蝕技術(shù),可以在納米級尺度上加工任意需要的復(fù)雜結(jié)構(gòu)。 電致刻蝕主要由一個施加在樣品與表面間的脈沖電壓引起,當(dāng)所加電壓超過閾值時,暴露在電場下的樣品表面會發(fā)生化學(xué)或物理變化。這些變化或者可逆或者不可逆,其機(jī)理可以直接歸因于電場效應(yīng),高度局域化的強(qiáng)電場可以誘導(dǎo)原子的場蒸發(fā),也可以由電流焦耳熱或原子電遷移引起樣品表面的變化。通過控制脈沖寬度和脈幅可以限制刻蝕表面的橫向分辨率,這些變化通常不僅表現(xiàn)在表面形貌上,通過檢測其導(dǎo)電性、dI/dS、dI/dV、摩擦力還可以分辨出襯底的修飾情況。 | |||
| |||
壓痕/機(jī)械刻畫 | |||
操縱微探針以可控的作用力對樣品表面進(jìn)行局域施壓,使樣品發(fā)生彈性/塑性形變;也可在施壓的同時,控制探針以一定的路徑和速度在樣品運(yùn)動,對樣品進(jìn)行機(jī)械刻畫。 基于掃描探針顯微鏡(SPM)系統(tǒng)的壓痕/機(jī)械刻畫功能,為在納米尺度上評價材料的機(jī)械和運(yùn)動性能,或在樣品表面構(gòu)建特定的納米結(jié)構(gòu)提供了一種方便實用的研究手段。 | |||
| |||
矢量掃描模式 | |||
系統(tǒng)提供一個向量腳本編譯器,允許用戶任意掃描方向、距離、速度及加工參數(shù)(如作用力、電流、電壓等),直接操縱探針運(yùn)動,同時靈活測定各種信號和數(shù)據(jù)。 | |||
| |||
DPN浸潤筆模式 | |||
DPN(Dip-Pen Nanolithography)浸潤筆利用已作過分子修飾的探針,通過控制探針與樣品間的相互作用條件,來實現(xiàn)探針針尖到樣品表面的分子傳輸。 DPN實際上是一種簡便的從探針針尖到樣品表面的輸運(yùn)分子的方法,其分辨率可媲美電子束刻蝕等方法,對納米器件的功能化更為有用。 | |||