VacIon Plus 離子和 TPS 鈦升華組合泵
從上世紀五十年代，由瓦里安公司首先發(fā)明的濺射離子泵問世以來，越來越多的新設計和新技術投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即現(xiàn)在的安捷倫科技。從一臺二極型離子泵，到三極型離子泵，再到Starcell 系列產(chǎn)品乃至世界聞名的VacIon Plus 產(chǎn)品家族等。
VacIon Plus離子泵
- VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的的離子泵產(chǎn)品家族，包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件?？蔀楦鞣N應用提供相應解決方案。除標準產(chǎn)品外，安捷倫科技還為特定應用提供包括電源及相關附件在內(nèi)的專屬解決方案，以滿足用戶對起始工作壓強、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標的特殊要求。
- VacIon Plus 離子泵產(chǎn)品家族擁有Diode 二極型、Noble Diode 鉭陰極二極型以及Starcell 三極型泵在內(nèi)的全系列產(chǎn)品，以超高真空獲得技術為眾多應用領域服務。除MiniVac 和Dual 兩款離子泵電源外，4UHV 離子泵控制器則為不同應用提供了更為豐富的選擇。
鈦升華復合型離子泵
- 鈦升華復合型離子泵將兩種抽氣原理合二為一：
鈦升華過程針對活性氣體提供了的抽速，而同時Starcell 離子泵則有效清除如氬氣等惰性氣體和甲烷等非活性氣體。復合型泵通過額外的法蘭將鈦升華泵源以及低溫筒集成在泵體當中。安捷倫科技還可針對客戶的特殊需求提供定制產(chǎn)品。
4UHV控制器 – 專為超高真空設計
的安捷倫4UHV 離子泵控制器能同時控制四臺離子泵，可對泵進行獨立操作，并且支持各個型號（包括Diode，Noble Diode，StarCell）。LCD 顯示可同時讀取并顯示四通道信息，包括離子泵電壓，電流和壓力。可變電壓能夠讀取抽速和壓力。標配內(nèi)置設定點，遠程操作，以及RS232/485 電腦交互界面。
產(chǎn)品特點:
- 優(yōu)化設計的單元結構尺寸和形狀
- 特別設計的陶瓷絕緣材料
- 三種不同的抽氣單元可以滿足抽除種混合氣體和特殊應用的要求 (二級泵, Noble二級泵（鉭）, 及擁有的StarCell 三級泵)
- 各種抽速范圍的離子泵
- 安捷倫真空采用了的高真空處理工藝來確保離子泵的品質(zhì)
- 根據(jù)用戶特殊要求設計定制
- 可選配相應的烘烤加熱裝置，以更妥善地烘烤泵體
技術參數(shù)1：
| Miniature Pump | 2 l/s Pump | 10 l/s Pump | Vaclon Plus 20 | Vaclon Plus 40 | Vaclon Plus 55 | ||||||||
| 進氣口法蘭 | 2 ?” OD CFF | 2 ?” OD CFF | 4 ?” OD CFF | ||||||||||
| 組件類型 | Diode | Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 | l/s | 0.2 | 2 | 10 | 20 | 22 | 27 | 34 | 36 | 40 | 50 | 53 | 55 |
| 工作壽命(at 1-6 mbar) | Hours | N/A | 8000 | 40000 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 |
| 啟動壓力 | mbar | 1 x 10-4 | 1 x 10-4 | ≤1 x 10-4 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 |
| 烘烤溫度 | °C | 400 (without magnet)150 (with magnet) | 400 (without magnet)150 (with magnet) | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
| 重量 | Kg | 0.3 | 0.3 | 4 | 7 | 17 | 18 | ||||||
| 半導體行業(yè)認證 | – | – | + | + | + | + | |||||||
技術參數(shù)2：
| Vaclon Plus 75 | Vaclon Plus 150 | Vaclon Plus 300 | Vaclon Plus 500 | ||||||||||
| 進氣口法蘭 | 6” OD CFF | 6” OD CFF | 8” OD CFF | 8” OD CFF | |||||||||
| 組件類型 | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | StarCell | Noble Diode | Diode | |
| 抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮氣 | l/s | 65 | 68 | 75 | 125 | 135 | 150 | 240 | 260 | 300 | 410 | 440 | 500 |
| 工作壽命(at 1-6 mbar) | Hours | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 | 80 | 50 | 50 |
| 啟動壓力 | mbar | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 | <10-2 | <10-3 | <10-3 |
| 烘烤溫度 | °C | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
| 重量 | Kg | 19 | 43 | 69 | 120 | ||||||||
| 半導體行業(yè)認證 | + | – | – | – | |||||||||
Miniature Pump 離子泵
Vaclon Plus離子泵
4UHV控制器
