VHS / HS / NHS / AX 擴散泵
通過關(guān)注客戶的需求并持續(xù)提高擴散泵性能及可靠性,安捷倫成為擴散泵制造領(lǐng)域。基于四十余年來在工業(yè)界的地位,安捷倫不斷地為世界各地的用戶提供將熱量轉(zhuǎn)換為抽氣量的的擴散泵。憑借著豐富的經(jīng)驗,對擴散泵的各個要素進行化設計,安捷倫擴散泵能讓您以的成本滿足諸多高真空應用的要求。
產(chǎn)品特點:
低運行成本
安捷倫擴散泵是世界上單位能耗獲得抽氣量的擴散泵,需要的冷卻水量低,不銹鋼結(jié)構(gòu)堅固耐用。安捷倫為您提供運行成本的擴散泵。
大容積應用
安捷倫擴散泵可滿足您的生產(chǎn)工藝需求,在壓力較高和氣體流量較大條件下依然提供抽氣性能,在較大生產(chǎn)工藝中依然掌控氣體負載。
堅固耐用的加熱器
通過優(yōu)化加熱器的設計,安捷倫擴散泵對熱能的利用效率高,壽命長,同時避免了內(nèi)置式加熱器一旦損壞不易更換的缺點,能在各種應用條件下穩(wěn)定可靠地工作。同時,溫度的穩(wěn)定和均勻能延長泵油壽命。過熱保護開關(guān)防止系統(tǒng)溫度過高。
水冷帽等配件滿足您的各種需求
許多應用有著特殊的需求。除標配的標準型水冷帽外,安捷倫還可提供增強型水冷帽(小泵)和Halo Baffle 水冷帽(大泵)。在不增加整體高度和不顯著降低抽速的情況下,將返油量降低90% 以上。可選裝的快冷裝置可以縮短冷卻周期,從而提高效率。
全面優(yōu)化的噴射塔
安捷倫精心設計制造的不銹鋼蒸汽噴射塔及油滴防護傘可提供的抽氣量、穩(wěn)定的真空度、的前級耐壓,同時還地減少了返油。特別是在高壓強的階段,安捷倫擴散泵可以輕松地應對氣載的變化,從而特別適合大批量生產(chǎn)的要求。
易維護
無維護運行時間對用戶非常關(guān)鍵,所以我們簡化了操作和維護流程。通過玻璃視窗,可觀察真空下冷態(tài)和熱態(tài)的油位,同時可觀察油的清潔程度。
技術(shù)參數(shù):
AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-20 | HS-32 | NHS-35 | ||
抽速(operating range) | l/s | |||||||||||
空氣 | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 3650 | 4,500 | 6,000 | 10,000 | 17,300 | 28,000 | |
氦氣和氫氣 | 90 | 200 | 940 | 1930 | 2660 | 4560 | 5,625 | 7,500 | 12,500 | 21,625 | 35,000 | |
抽速AVS 4.1 (1963) | – | 285 | 1200 | 2400 | 3700 | 5300 | 8,000 | 10,000 | 17,500 | 32,000 | 50,000 | |
前級耐壓 | mbar | |||||||||||
無負載 | 1.00 | 0.72 | 0.86 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.85 | 0.65 | 0.71 | |
全負載 | 0.78 | 0.52 | 0.73 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.72 | 0.45 | 0.52 | |
通導 | mbar-l/s | |||||||||||
In operating range | 0.25 | 0.80 | 2.0 | 3.2 | 3.5 | 8.4 | 8.4 | 11.7 | 16.7 | 40 | 33 | |
@1.3×10-2mbar | 0.40 | 0.93 | 3.2 | 4.5 | 4.5 | 10.0 | 10.0 | 15.3 | 23.4 | 45.5 | 45.5 | |
獲得通導建議配置的最小前級泵 | m3/hr | 0.25 | 8.5 | 17 | 28.9 | 28.9 | 51 | 51 | 136 | 170 | 510 | 510 |
進氣法蘭返油率(standard cold cap) | mg/cm2/min | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1×10-3 | 1×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 |
預熱時間 | Min | 7 | 15 | 10 | 10 | 10 | 15 | 15 | 30 | 45 | 60 | 60 |
冷卻時間 | Min | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 25 | 25 | 30 | 45 | 60 | 60 |
泵油更換 | cc | 30 | 100 | 300 | 500 | 500 | 1000 | 1000 | 2.8 liters | 4.7 liters | 11.3 liters | 11.3 liters |
電源 | 1ph,50/60Hz 90/115/165/220 V | 1ph,50/60Hz 120/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 1ph,50/60Hz 120/208/240 V | 3ph50/60 Hz 208/240/380/480 V | 3ph50/60 Hz 208/240/380/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | 3ph50/60 Hz 240/415/480 V | |
功率 | Watt | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 12000 | 24000 | 24000 |
冷卻水a(chǎn)t 15-26 °C | l/hr | N/A | 20 | 30 | 50 | 50 | 80 | 80 | 300 | 300 | 800 | 800 |
AX擴散泵
HS, NHS擴散泵
VHS擴散泵