RHESCA CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測試儀概要： |
基于JIS R-3255標(biāo)準(zhǔn)，以MICRO SCRATCH法評價光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴(kuò)散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強(qiáng)度）的超薄膜附著強(qiáng)度測試儀。為成膜研究與測試所的測試設(shè)備。
CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測試儀特點： |
CSR-5000采用高感度的能夠檢測出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測試納米級別的薄膜的附著強(qiáng)度 |
可測量膜厚μm以下的超薄膜的密著強(qiáng)度 |
加熱環(huán)境下評價可能 |
鏡片等曲面測量可能 |
可以進(jìn)行以特定荷重來評價的特定負(fù)荷測試 |
測試部位的設(shè)定以及測試后的劃傷觀察等簡單易行 |
測試不需要花費很多時間(1次測試約1～2分鐘) |
CSR-5000超薄膜附著強(qiáng)度測試儀的規(guī)格參數(shù) |
荷重檢出機(jī)構(gòu) | 荷重印加范圍 | 1mN ～1500mN |
荷重分解能 | 0.3mN | |
10RPM±5％ -注 | 300%FS | |
剝離檢出（垂直方向） | 檢出信號 | 加速度信號 |
頻率范圍 | 20Hz ～10kHz | |
摩擦力檢出（水平方向） | 檢出信號 | 檢出信號 |
頻率范圍 | 20Hz ～10kHz | |
傳感器勵振機(jī)構(gòu) | 勵振頻率 | 45H |
勵振振幅 | 0?5?10?20?40?50?80? 100μm | |
探針 | 觸針形狀 | Φ1.6×6.5mm |
材質(zhì) / 形狀 | 金剛石R 5?10?15?25?50? 100μm | |
材質(zhì) / 形狀 | 藍(lán)寶石R 250?500μm | |
Z 軸驅(qū)動機(jī)構(gòu) ※荷重印加方向 | 驅(qū)動方式 | 步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動 |
驅(qū)動范圍 | 20mm | |
驅(qū)動分解能 | 0.5μm | |
驅(qū)動速度( 測試時) | 0 ～20μm/s | |
驅(qū)動速度( 準(zhǔn)備時) | 1mm/s | |
試料臺XY軸移動機(jī)構(gòu) | 驅(qū)動方式 | 千分尺手動調(diào)節(jié) |
移動范圍 | ±6.5mm | |
Data輸出方式 | USB | |
尺寸及重量 | W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡 | |
電源 | AC100V ～240V | |
