應(yīng)用于表面難以測量的物體(技術(shù)性及困難表面),是一種非接觸式輪廓測量的通用的測量解決方案。理想情況下,傳感器適合于敏感的,軟的或液體的表面。適用于微機(jī)械工程,電氣工程,光學(xué)行業(yè),塑料和造紙行業(yè),半導(dǎo)體和PCB產(chǎn)業(yè)的檢測,工具行業(yè)等。
傳感器 | NLS11/NLS12納米級位移計 |
量程mm | 1 |
分辨率 nm | 20 |
線性度 | NLS11: ≤ 1um NLS12: ≤ 2um |
重復(fù)性nm | ≤ 15 |
測量間隙mm | NLS11: 4 NLS12: 13.5 |
光源鹵素?zé)?/span>W | NLS11: 670nm半導(dǎo)體激光二極管 NLS12: 780nm半導(dǎo)體激光二極管 |
光斑直徑µm | NLS11: < 2um NLS12: 2.0um |
測量垂直度o | 90±25 |
響應(yīng)Hz | 16~1K |
輸出 | 數(shù)據(jù)接RS232,模擬0-10V |
重量g | NLS11: 探頭約250,控制器約4000 NLS12: 探頭約2000,控制器約4000 |
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