UVISEL2是一款革新的全自動(dòng)光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機(jī)型UVISEL的高準(zhǔn)確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點(diǎn)的同時(shí),配備革新的可視系統(tǒng),多達(dá)8個(gè)尺寸微光斑選項(xiàng),最小達(dá)35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場(chǎng)上無二的機(jī)型。
詳細(xì)資料:
UVISEL2是一款革新的全自動(dòng)光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經(jīng)典機(jī)型UVISEL的高準(zhǔn)確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術(shù)特點(diǎn)的同時(shí),配備革新的可視系統(tǒng),多達(dá)8個(gè)尺寸微光斑選項(xiàng),最小達(dá)35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領(lǐng)域。是目前市場(chǎng)上無二的機(jī)型。
技術(shù)參數(shù):
·光譜范圍:190-2100 nm
·8種光斑尺寸: 最小35 X 85 um
·探測(cè)器:3個(gè)獨(dú)立探測(cè)器,分別優(yōu)化紫外,可見和近紅外
·自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動(dòng)調(diào)整
·自動(dòng)量角器:變角范圍35°- 90°,全自動(dòng)調(diào)整,最小步長0.01°
主要特點(diǎn):
·自動(dòng)化設(shè)計(jì),自動(dòng)對(duì)焦、校正
·全新光路、電路設(shè)計(jì),測(cè)量精度更高,速度更快
·50KHz高頻PEM相調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
·雙光柵光譜儀系統(tǒng),雜散光抑制水平高
·8個(gè)尺寸微光斑,可視技術(shù)
·自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像