20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行確的測量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。
詳細資料:
20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行確的測量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù),與機械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。
可選光譜范圍:
·UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)
·UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )
·UVISEL VIS (210 nm -880 nm )
·UVISEL FUV(190 nm -880 nm )
·UVISEL VUV(142 nm -880 nm )
·多種實用微光斑尺寸選項
·探測器:分別針對紫外,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
·自動樣品臺尺寸:多種樣品臺可選
·自動量角器:變角范圍35° - 90°,全自動調(diào)整,最小步長0.01°
主要特點:
·50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),測量光路中無運動部件
·具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
·具有毫秒級超快動態(tài)采集模式,可用于在線實時監(jiān)測
·自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
·配置靈活