概述
SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設計。
產(chǎn)品特點
采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)；
高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；
支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應用場景支持多功能模塊化定制；
數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料；
產(chǎn)品應用
廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現(xiàn)光學薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
建議配件
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| 溫控臺 | Mapping擴展模塊 | 真空泵 | 透射吸附組件 |
