箱體 | |
描述 | 材料:不銹鋼1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm 尺寸: 1500mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H) |
體積 | 1.0 m3 |
前窗 | 面板:8 mm厚安全鋼化玻璃 或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇) 尺寸:1435mm(L) x 839mm(H) |
手套口 | 硬鋁合金材質(zhì)或聚甲醛材料 (可供選擇) 口徑 220 mm, O型圈密封 |
手套 | 材料:丁基橡膠 厚度: 0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇) |
過濾器 | 出口和入口過濾器,過濾<0.3μm |
照明 | LED照明位于前窗頂上部 |
泄漏率 | 按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試 |
GP20氣體凈化系統(tǒng) | |
描述 | 自動去除 H2O 和 O2 ;單凈化柱系統(tǒng),自動再生(可選GP200雙凈化柱);密閉的氣體循環(huán)管路 |
使用電壓 | AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或 AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A (可供選擇) |
工作氣體 | 工作氣:N2、Ar 、He(純度≥99.999%);再生氣:H2 占5%—10%,其余的為工作氣(純度≥99.999%) |
真空泵 | 規(guī)格:旋片真空泵, 配帶油霧過濾器, 帶氣鎮(zhèn)控制;流量:12 m3/h (7 cfm),雙基片, 真空度< 2 x 10-3 mbar(可選干泵) |
循環(huán)單元 | 無油高速風機;風量:0 - 100 m3/h |
閥門 | 電磁高真空閥門 |
泄漏率 | 按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標準進行最終驗收測試 |
控制柜尺寸 | 600mm(L)x 800mm(D)x 870mm(H) |
清洗系統(tǒng) | |
描述 | 設(shè)置好相應(yīng)時間和壓力,系統(tǒng)可以對箱體自動進行氣體置換。 |