納米制造工藝
自有核心納米加工產(chǎn)線，包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等。成熟的關(guān)鍵元件制造工藝，實現(xiàn)消費級衍射光學(xué)元件。
衍射器件設(shè)計
自有DOE設(shè)計團隊，豐富的衍射光學(xué)理論計算和設(shè)計經(jīng)驗，可以定制開發(fā)各種DOE器件。
成熟的供應(yīng)鏈
長期的硅光半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈管理經(jīng)驗?？焖俳桓逗透吡计仿实谋ＷC。
功能參數(shù)
產(chǎn)品參數(shù)
- 材料：玻璃、玻璃/樹脂、金屬、硅等
- 最小光柵結(jié)構(gòu)寬度：30nm
- 二維光柵結(jié)構(gòu)形狀：矩形、三角形（閃耀光柵）、斜齒
- 三維光柵結(jié)構(gòu)形狀：納米柱、納米孔
- 光柵結(jié)構(gòu)深寬比：可達10：1
- 加工面積：12英寸
