Eyoung Vacuum Regulator(EVR Series)
—— 負壓和正壓調(diào)節(jié)、口徑1/8"~4"、高速精密、手動或電子控制
一、簡介
EVR系列調(diào)節(jié)器是一種常閉調(diào)壓型真空壓力調(diào)節(jié)裝置,可直接對氣密性容器的真空壓力(負壓或正壓)進行高速調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)方式采用頂部氣控先導閥,先導閥可采用手動和電子控制形式。
EVR系列產(chǎn)品是專門為大口徑和快速控制等工業(yè)應(yīng)用需求所設(shè)計的高速真空壓力調(diào)節(jié)器,如各種CVD、聚合物精密成型和精密真空蒸餾等工藝,是目前常用進口高速電動閥門(MKS、CDK和VAT等蝶閥)的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品。
EVR系列產(chǎn)品可配各種手動和電子控制形式的先導閥,可形成開環(huán)和閉環(huán)控制回路。通過外接真空計并與依陽公司VPC2021系列真空壓力控制器相結(jié)合,可構(gòu)成閉環(huán)形式快速高精度可編程真空控制回路。
二、技術(shù)指標和尺寸
三、特點
(2)免拆裝式的閥芯更換方式,便于有污染真空工藝中EVR調(diào)節(jié)器的維護。
(3)整個 EVR系列調(diào)節(jié)器都可以采用同款小尺寸先導閥進行氣控驅(qū)動。
(4)可應(yīng)用在高溫場合,先導閥可布置在較遠位置,耐溫只取決于密封材料。
(5)可應(yīng)用在強腐蝕場合,甚至一些對FFKM有溶脹的場合(如二氧化碳和溴化鋰等)。
(6)通過連接真空源和壓力源以及快速切換,可進行負壓或正壓的單獨控制以及正負壓過程的連續(xù)控制。
(7)可進行防爆設(shè)計和操作,先導閥與EVR系列調(diào)節(jié)器可遠距離分離,避免先導閥的電磁干擾。
四、應(yīng)用
(1)CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國產(chǎn)化替代方案及產(chǎn)品
(2)工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應(yīng)精密真空控制的解決方案
(3)低壓與高壓(負壓與正壓)之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案
(4)呼吸閥檢驗裝置中的正負壓連續(xù)精密控制解決方案
(5)快速響應(yīng)的大口徑背壓閥在聚合物擠出機定徑箱真空度精密控制中的應(yīng)用