電動(dòng)可變泄漏閥(微小流量調(diào)節(jié)閥)——用于超高真空度控制
Electric Variable Leakage Valve (Micro-Flow Control Valve)
一、簡(jiǎn)介
VLV2023系列可變泄漏閥是上海依陽公司新推出的一系列電控可變泄漏閥,可以連接到任何真空系統(tǒng)中,以建立可調(diào)節(jié)的泄漏和微小流量進(jìn)氣,特別適合高真空和超高真空環(huán)境下的微流量進(jìn)氣調(diào)節(jié)和超高真空度的準(zhǔn)確控制。它提供了的控制靈敏度和穩(wěn)定性,泄漏率低至1×10-10TorrL/s。泄漏率或流量調(diào)節(jié)由0~10V模擬信號(hào)控制,可代替安捷倫公司和VAT公司的手動(dòng)/自動(dòng)可變泄漏閥產(chǎn)品。
可變泄漏閥的功能是在超低漏率條件下進(jìn)行微小流量的精密調(diào)節(jié),可通過兩種技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)此功能:一是改變超低漏率閥門的開度大小,以控制流經(jīng)氣體的流量;二是改變超低漏率閥門的進(jìn)氣壓力大小,以改變流經(jīng)氣體的流速。目前國(guó)外可變泄漏閥采用的都是調(diào)節(jié)開度法,而VLV2023系列可變泄漏閥采用的則是調(diào)節(jié)壓力法。調(diào)節(jié)開度法屬于一種純機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu),對(duì)可變泄漏閥門的加工制造、材質(zhì)和磨損性能有著非常苛刻的要求,且運(yùn)行速度較低和價(jià)格昂貴。而調(diào)節(jié)壓力法則屬于一種微機(jī)電機(jī)構(gòu),無摩擦部件,大幅降低了制造難度和成本。
二、技術(shù)指標(biāo)
(1)最小泄漏率:1×10-10TorrL/s。
(2)泄漏變化率:隨著進(jìn)口氣體壓力的增加,提供增加的變化率,從而提供成比例的精確控制。
(3)真空范圍:從大氣壓到低于10-11Torr。
(4)溫度范圍:連接處位置高達(dá)450℃。
(5)入口氣體壓力:1000psi(7MPa)。
(6)控制信號(hào):0~10DVC。
(7)電源:24DVC。
(8)材質(zhì):304不銹鋼。
(9)重量:0.43kg。
三、尺寸和接線
四、典型應(yīng)用
(1)超高真空度調(diào)節(jié)用安捷倫和VAT電動(dòng)可變泄漏閥的國(guó)產(chǎn)化替代
(2)采用氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)量MEMS密封件漏率和內(nèi)部真空度的解決方案
(3)國(guó)產(chǎn)ChatGPT文心一言在超高真空度控制裝置研發(fā)中的應(yīng)用探索
(4)皮拉尼計(jì)和電離規(guī)信號(hào)線性化處理技術(shù)在超高真空度精密控制中的應(yīng)用
(5)真空度控制技術(shù)關(guān)鍵部件的國(guó)產(chǎn)化替代現(xiàn)狀
(6)低溫結(jié)霜可視化實(shí)驗(yàn)裝置的真空壓力精密控制技改方案
(7)環(huán)境可控原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)超高真空到常壓的可變壓力控制解決方案
(8)超高真空變溫臺(tái)的真空壓力和氣氛精密控制解決方案