LaserOptik可變衰減器AVACS，157-2970nm，AOI 0°至45°
LASEROPTIK提供的自動可變衰減器控制系統(tǒng)(Automatic Variable Attenuator Control System, AVACS)由步進(jìn)電機驅(qū)動，可手動控制或由計算機控制。AVACS系列衰減器包括電源、控制顯示屏、操作元件、啟動程序、限位裝置、計算機接口和水冷裝置。此外，193nm衰減器AVACS還可提供帶手動調(diào)節(jié)功能的簡易外殼，該裝置專為衰減不同波長的光束而設(shè)計，LaserOptik激光衰減器AVACS通過改變光束路徑上光學(xué)器件的角度來實現(xiàn)各種強度，其中，補償濾波片用于光束校正。光學(xué)鏡組不包括在供貨范圍內(nèi)，可從LASEROPTIK GmbH（德國加布森，30826）購買各種波長的濾光鏡片。
可以通過以下三種不同的方式進(jìn)行控制：
1. 手動Manual：3個功能按鈕和自解釋顯示屏
2. 模擬Analogue：可連接0-10V直流電，即來自SPS的直流電。
3. 電腦PC：可使用隨附的Net "Software軟件進(jìn)行串行接口連接。
圖1： LaserOptik可變衰減器AVACS圖示
圖2：248nm激光衰減器的透射率隨入射角變化的曲線圖
可變衰減器(Variable Attenuators，VA)：
LASEROPTIK提供的可變可變激光衰減器(Variable Attenuators，VA)是通過傾斜邊緣濾光片來改變透射率，入射角(AOI) 0°時透射率，AOI 0°至45°，波長范圍157-2970nm。特別是具有193nm激光衰減器LaserOptik。
反向可變衰減器(Inversely Variable Attenuators, IVA)：
反向可變衰減器(Inversely Variable Attenuators, IVA)工作原理與VA相同，但在AOI 0°時傳輸率。其中，給出的公差表示傳輸中的最小調(diào)諧范圍，光束位移可以通過同時使用第二塊板或兩片濾光片來補償。若要實現(xiàn)低衰減，建議使用AR涂層第二板。
248nm Variable Attenuator激光衰減器規(guī)格：
consisting of
B-00211
VA248nm/0-45° T 90%-2%
T>90% 0-15° (depending on the production tolerance)
T<2% 45°
B-00002
AR248nm/0°
R<0.25%
S-00016
FS-LO-U 50x27x1.5mm
plane
Surface form deviations: 3/4(4) Wedge: <5'
193nm衰減器AVACS的特點：
LaserOptik激光衰減器的基底材料、波長、反射/透射率、入射角、偏振和GDD值等進(jìn)行優(yōu)化，另外，還可以根據(jù)用戶的需求進(jìn)行全新的設(shè)計。
LaserOptik激光衰減器的鍍膜類型Coating types參數(shù)：
圖3：PR通過AOI改變反射/透射比，通過改變AOI（例如0-45°）可以連續(xù)改變傳輸，也可作為反向可變衰減器(IVA)
| 波長λ[nm] | 0°→45°; T= |
| 對應(yīng)的鍍膜技術(shù)method |
| 157 | 70%→2% | on CaF2 | EBE |
| 70%→2% | on CaF2 | EBE inversely (IVA) | |
| 193 | 80%→10% |
| MS |
| 248 | 90%→2% | 標(biāo)準(zhǔn) | EBE |
| 95%→1% | 高功率 | MS | |
| 10%→95% | 高功率 | MS inversely (IVA) | |
| 266 | 92%→1% | 標(biāo)準(zhǔn) | EBE |
| 95%→1% | 高功率 | MS | |
| 355 | 92%→1% | 標(biāo)準(zhǔn) | EBE |
| 92%→1% | 不偏移 | IAD | |
| 532 | 92%→1% | 標(biāo)準(zhǔn) | EBE |
| 90%→1% | 不偏移 | IAD | |
| 808 | 95%→1% | 不偏移 | IAD |
| 940 | 95%→1% | 不偏移 | IAD |
| 1064 | 95%→1% |
| EBE |
| 95%→1% | 不偏移 | IAD | |
| 1550 | 95%→1% |
| EBE |
| 2940 | 90%→1% | on CaF2 | EBE |
*所有數(shù)值均為標(biāo)準(zhǔn)涂層的數(shù)值，而且這些類型涂層均可提供定制。
可提供如下的EBE、IAD、IP、MS和IBS涂層供選擇。
圖4：涂層種類
說明：
如無特殊說明，所有數(shù)值和圖表均已給出。
用于所述波長區(qū)域的標(biāo)準(zhǔn)基底材料（主要是熔融石英或CaF2）。
無需考慮后表面。
采用EBE涂層技術(shù)，具有良好的性價比。
所有類型均可提供定制涂層。
–––– 虛線顯示具有放大倍數(shù)的縮放曲線
193nm激光衰減器LaserOptik的曲線圖：
圖5：衰減器曲線圖
193nm激光衰減器LaserOptik的配件Components：
- AVACS-主機
- 110/230V，50/60Hz電源
- 電源電纜
- 串行接口電纜
- 模擬控制連接電纜
- 完整版 .NET 軟件光盤
- 可伸縮鑷子，用于安裝光學(xué)器件/濾光片
- 運輸箱
圖6：LaserOptik衰減器配件
