SU7000不僅可以在低加速電壓下獲得高畫質(zhì)圖像，而且還可以同時接收多種信號。此外，它還具備大視野觀察、In-Situ觀察等FE-SEM的眾多優(yōu)異性能。
SU7000是一臺實現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡，可以滿足客戶的多種觀察需求。
*主圖為包含選配項的SU7000示意圖
特點
核心理念
1.采用優(yōu)異的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內(nèi)獲得更全面的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現(xiàn)了獲得樣品信息的。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
- 大型樣品觀察
- 低真空觀察
- 超低溫觀察
- 實時觀察
等所需的樣品倉和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍，束流可達(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設(shè)備可通過選配附件滿足各種特殊需求。
成像能力
追求信息的檢測系統(tǒng)
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化，對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。
同一條件觀察
樣品：包裹有機物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應(yīng)用實例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現(xiàn)了獲取信息的。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計
優(yōu)化信號顯示功能
成像單元在信號顯示上也作了全新升級。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
- 用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場角和通道數(shù)。
- 單屏最多可同時顯示4通道信號。
- 導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內(nèi)信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。
- 使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時顯示6通道信號。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉和馬達(dá)臺
樣品倉外觀
標(biāo)配18個附件接口
馬達(dá)臺外觀
XY軸可移動距離為135×100 mm
樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm；80 mm的樣品。大開倉設(shè)計，標(biāo)配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸移動距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺不成問題。
相機導(dǎo)航功能(*)
通過相機拍攝樣品
將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進(jìn)行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內(nèi)，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。
(*)可選配相機。
支持動態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動態(tài)觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。
低真空環(huán)境的探測器選擇
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
(**)可選配PD-BSED、UVD。
規(guī)格
| 項目 | 內(nèi)容 | ||
|---|---|---|---|
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV | |
| 0.9 nm/1 kV | |||
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x | ||
| 電子槍 | 發(fā)射體 | ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射） | |
| 加速電壓 | 0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV） | ||
| 束流 | 200 nA | ||
| 探測器 | 標(biāo)準(zhǔn)探測器 | UD （上探測器) | |
| MD （中探測器） | |||
| LD （下探測器) | |||
| 選配探測器*1 | PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器） | ||
| UVD（高靈敏度低真空探測器 ） | |||
| 低真空模式*1 | 樣品倉壓力范圍 | 5～300 Pa | |
| 可使用探測器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD | ||
| 馬達(dá)臺 | 馬達(dá)臺控制 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動 | |
| 移動范圍 | X | 0～135 mm | |
| Y | 0～100 mm | ||
| Z（WD） | 1.5～40 mm | ||
| T（傾斜角） | -5～70° | ||
| R（旋轉(zhuǎn)角） | 360° | ||
| 樣品尺寸 | 直徑：φ200 mm, 高度：80 mm | ||
| 顯示器*1 | 23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 | ||
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1,280×960像素顯示 | |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 | ||
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 | ||
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 | ||
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示 *2 | ||
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 | |
| 選配附件 | 能譜儀（EDX） | ||
| X射線波譜儀（WDX） | |||
| 電子背散射衍射（EBSD） | |||
| 陰極熒光探測器（CL) | |||
| 冷凍傳輸系統(tǒng) | |||
| 各種功能樣品臺 | |||
*1為選配項。
*2支持雙屏顯示。
安裝布局
