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  • FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量膜厚儀

FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量膜厚儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-06-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值433
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷(xiāo)商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專(zhuān)業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來(lái)西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專(zhuān)業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來(lái)自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來(lái)。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷(xiāo)售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_(kāi)始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱(chēng)為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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膜厚儀FR-Mic是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征
FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量膜厚儀 產(chǎn)品詳情

膜厚儀 FR-Mic 是一款快 速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,可以將 光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區(qū)域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺(tái)專(zhuān) 用計(jì)算機(jī)控 制的 XY 工作臺(tái),使其快 速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特 性 。也可以搭配自動(dòng)平臺(tái)測(cè)量 400x400mm 大小樣品。

Thetametrisis膜厚儀


Thetametrisis利用 FR-Mic,通過(guò)紫外/ 可見(jiàn)/ 近紅外可輕易對(duì)局部區(qū)域薄膜厚度,厚度映射,光學(xué)常數(shù),反射率,折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測(cè)量。

【相關(guān)應(yīng)用】



  • 高校 & 研究所實(shí)驗(yàn)室


  • 半導(dǎo)體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導(dǎo)體薄膜.)


  • MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)


  • LEDs, VCSELs 多層膜測(cè)量應(yīng)用


  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)


  • 陽(yáng)極處理氧化膜


  • 曲面基底的硬化涂層


  • 聚合物膜層, 粘合劑.


  • 生 物醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)


  • OEM或客制化應(yīng)用

【特點(diǎn)】




  • 實(shí)時(shí)光譜測(cè)量


  • 薄膜厚度,光學(xué)特性,非均勻性測(cè)量, 厚度映射


  • 使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機(jī)進(jìn)行成像 (所視即所測(cè))

file.png




【技術(shù)參數(shù)】

型號(hào)

UV/VIS

UV/NIR-EXT

UV/NIR-HR

DUV/NIR

VIS/NIR

DVIS/NIR

NIR

NIR-N2

光譜波長(zhǎng)范圍(nm)

200850

2001020

200-1100

2001700

3701020

3701700

9001700

900-1050

光譜儀像素

3648

3648

3648

3648 & 512

3648

3648 & 512

512

3648

膜厚測(cè)量范圍

5X- VIS/NIR

4nm-60um

4nm-70um

4nm-90um

4nm-150um

15nm-90um

15nm-150um

100nm-150um

4um-1mm(SiO2)

10X- UV/VIS/NIR

4nm-50um

4nm-60um

4nm-80um

4nm-130um

15nm-80um

15nm-130um

100nm-130um

4um-400um(Si)

15X- UV/NIR

4nm-40um

4nm-50um

4nm-50um

4nm-120um

-

-

20X- UV/VIS/NIR

4nm-25um

4nm-30um

4nm-30um

4nm-50um

15nm-30um

15nm-50um

100nm-50um

40X- UV/NIR

4nm-4um

4nm-4um

4nm-5um

4nm-6um

-

-

50X- VIS/NIR

-

-

-

-

15nm-5um

15nm-5um

100nm-5um

測(cè)量n&k蕞小厚度

50nm

50nm

50nm

50nm

100nm

100nm

500nm

準(zhǔn)度 3.

0.1% or 1nm

0.2% or 2nm

50nm or 0.2%

精度 4..

0.02nm

0.02nm

5nm

重覆性 5.

0.05nm

0.05nm

5nm

光源

氘燈&鹵素?zé)?/span>(internal)

鹵素?zé)?/span>(internal)10000 小時(shí) (MTBF)

材料數(shù)據(jù)庫(kù)

>650內(nèi)建材料數(shù)據(jù)庫(kù)




*測(cè)量面積(收集反射或透射信號(hào)的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。


物鏡

光斑尺寸(μm)

500μm孔徑

250μm孔徑

100μm孔徑

5x

100μm

50μm

20μm

10x

50μm

25μm

10μm

20x

25μm

17μm

5μm

50x

10μm

5μm

2μm



【工作原理】


Thetametrisis膜厚儀FR-Mic工作原理.jpg




  1. 規(guī)格如有更改,恕不另行通知


  2. 測(cè)量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,


  3. 連續(xù) 15 天測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) ,


  4. 100 次厚度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)方差,樣品:1um SiO2 on Si.


  5. 超過(guò) 15 天的標(biāo)準(zhǔn)偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。


  6. 使用反射式物鏡


以上資料來(lái)自Thetametrisis,如果有需要更加詳細(xì)的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

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