膜厚監(jiān)測和控制儀的概述:
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入,另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號。
傳感器輸入可分配給不同的材料,在大型系統(tǒng)中平均分配以實(shí)現(xiàn)精確的沉積控制,或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器,從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s,用戶可自行選擇。此外,還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個(gè)繼電器輸入,SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時(shí)間和厚度設(shè)定點(diǎn)以及信號晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數(shù)。
膜厚監(jiān)測和控制儀的功能
兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測量通道,另外四個(gè)可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選件:0.03 Hz,10 讀數(shù)/秒
RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口,可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)