結(jié)構(gòu)・方式 | 多孔質(zhì)空氣軸承・檢測(cè)器式回轉(zhuǎn) |
回轉(zhuǎn)精度 | 0.05μm |
測(cè)定徑 | 內(nèi)外徑同 φ550mm(※EC5100H) |
裝載重量 | 200kg(※EC5100H) |
上下移動(dòng)量 | 1000mm(b測(cè)桿使用時(shí))(※EC5100Hの場(chǎng)合) |