安全穩(wěn)定的系統(tǒng)結構
Motic全新推出的PA80MET / PA120MET正置金相顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能，還具有安全穩(wěn)定的機架結構，使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使PA80MET / PA120MET正置金相顯微鏡可廣泛的應用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，尤其是LCD液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具。
機型系列：
PA80MET / PA80MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）
?載物臺行程：200 x 200 mm
PA120MET / PA120MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）
?載物臺行程：300 x 300 mm
1.采用前置低位粗微同軸調焦系列，即便在超大負荷工作下也不會出現(xiàn)下滑現(xiàn)象，以及長期使用的可靠性。
2.超大行程移動平臺，移動范圍：305mm X 305mm,可適用于12”的晶圓、LCD或FPD檢測， 也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實現(xiàn)全行程范圍內的快速移動。
3.多樣的照明器可供選擇：12V100W鹵素燈明場落 射照明，12V100W鹵素燈明暗場落射照明，可以根據(jù)需要選擇，電器全部內置主機，方便操作。
4.高精度物鏡轉換器：采用精密軸承設計，秉承了 Motic 輕巧舒適的手感和良好的重復定位精度及同心精度。
電動轉換器
電動轉換器提高了您的工作流程的速度，標志著PA53MET 更方便地使用。根據(jù)您的需求和偏好，從軟件、框架按鈕或控制器調整方法中進行選擇，以進一步提高生產(chǎn)能力和效率。
通過高精度、高準確性、人性化的三維分析系統(tǒng)達到令人驚訝的效果
Z-軸模塊
Z 軸對焦模塊的地形分析功能和三維特征通過我們的Motic Analysis的軟件它生成所有的2D圖像轉換為3D 配置文件組成。
Z軸模塊參數(shù)
行程距離 | 30 mm | 尺寸 | W:240 mm D:157 mm H:202.5 mm |
精度 | 0.01 pm | ||
重復性 | 0.5 pm | ||
速度 | 1.4 mm/s | 負載能力 | 15 kg |
重量 | 5 kg |
方便的控制板
為了幫助檢查高度一目了然，通過Z軸控制板的顯示器 的8個速度設定，控制Z軸可以精確確認位置。此外，通過緊急停止按鈕幫助來保護阻止意外情況的發(fā)生。
PA80MET 技術規(guī)格
明場系列 | 暗場系列 | |||||||
機型 | PA80MET | PA80MET-T | PA80MET-3D | PA53MET-T- 3D | PA80MET-T-3D | PA80MET-BD-T | PA80MET-BD-3D | PA80MET-BD-T-3D |
光學系統(tǒng) | 無限遠校正光學系統(tǒng)（CCIS） | |||||||
照明 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 |
觀察筒 | 正像三目頭部（FN 25），傾斜角20°,三筒光路2檔選擇：（目視：相機-100:0, 0:100） | |||||||
正像雙目頭（FN25），傾斜角20°（選配） | ||||||||
目鏡 | UC-WF 10X/25,屈光度可調+/-5（標配） | |||||||
N-WF 15X/16，屈光度可調+/-5（選配） | ||||||||
N-WF 20X/12.5，屈光度可調+/-5（選配） | ||||||||
轉換器 | 五孔明場轉換器帶DIC插槽 | 五孔暗場轉換器帶DIC插槽 | ||||||
電動五孔明場轉換器帶DIC插槽（選配） | 電動五孔暗場轉換器帶DIC插槽（選配） | |||||||
Plan S-APO 平場半復消色 差金相物鏡 | Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 (選配) | Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 (選配) | ||||||
LPlan S-APO 長距平場半復 消色差金相物鏡（選配） | LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8 | LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8 | ||||||
調焦機構 | 行程范圍：29.5 mm，粗調和微調手輪 粗調：17.7 mm/轉，微調：0.1mm/轉上限位，松緊調節(jié)環(huán) | |||||||
電氣 | 集成電源，用于直流12V100W調光。LED亮度指示，IL開關和ECO開關 | |||||||
反射主體 | Yes | / | / | / | Yes | / | / | / |
透反主體 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
反射3D主體 | / | / | Yes | / | / | / | Yes | / |
透反3D主體 | / | / | / | Yes | / | / | / | Yes |
反射照明 | 柯勒照明系統(tǒng)/明場，DIC,簡易偏光 | 柯勒照明系統(tǒng)/明場，暗場，DIC,簡易偏光 | ||||||
光源 | 12V / 100W長壽命鹵素燈泡 | |||||||
透射照明 | / | Yes | / | Yes | / | Yes | / | Yes |
照明 | / | 勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 | / | 勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 | / | 柯勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 | / | 勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 |
光源 | / | 12V/100W長壽命鹵素燈泡 | / | 12V/100W長壽命鹵素燈泡 | / | 12V / 100W長壽命鹵素燈泡 | / | 12V/100W長壽命鹵素燈泡 |
聚光鏡 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 |
載物臺 | 尺寸：325mm （最寬處 415mm） X 325mm 移動行程：200mm X 200mm 選配：晶圓臺板 | |||||||
PA80MET 技術規(guī)格
明場系列 | 暗場系列 | |||||||
機型 | PA120MET | PA120MET-T | PA120MET-3D | PA120MET-T- 3D | PA120MET-BD | PA120MET- BD-T | PA120MET-BD-3D | PA120MET-BD- T-3D |
光學系統(tǒng) | 無限遠校正光學系統(tǒng)（CCIS） | |||||||
照明 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 |
觀察筒 | 正像三目頭部（FN 25），傾斜角20°,三筒光路2檔選擇：（目視：相機-100:0, 0:100） | |||||||
正像雙目頭（FN25），傾斜角20°（選配） | ||||||||
目鏡 | UC-WF 10X/25,屈光度可調+/-5（標配） | |||||||
N-WF 15X/16，屈光度可調+/-5（選配） | ||||||||
N-WF 20X/12.5，屈光度可調+/-5（選配） | ||||||||
轉換器 | 五孔明場轉換器帶DIC插槽 | 五孔暗場轉換器帶DIC插槽 | ||||||
電動五孔明場轉換器帶DIC插槽（選配） | 電動五孔暗場轉換器帶DIC插槽（選配） | |||||||
Plan S-APO 平場半復消色 差金相物鏡 | Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 (選配) | Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 (選配) | ||||||
LPlan S-APO 長距平場半復 消色差金相物鏡（選配） | LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8 | LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8 | ||||||
調焦機構 | 行程范圍：29.5 mm，粗調和微調手輪 粗調：17.7 mm/轉，微調：0.1mm/轉上限位，松緊調節(jié)環(huán) | |||||||
電氣 | 集成電源，用于直流12V100W調光。LED亮度指示，IL開關和ECO開關 | |||||||
反射主體 | Yes | / | / | / | Yes | / | / | / |
透反主體 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
反射3D主體 | / | / | Yes | / | / | / | Yes | / |
透反3D主體 | / | / | / | Yes | / | / | / | Yes |
反射照明 | 柯勒照明系統(tǒng)/明場，DIC,簡易偏光 | 柯勒照明系統(tǒng)/明場，暗場，DIC,簡易偏光 | ||||||
光源 | 12V / 100W長壽命鹵素燈泡 | |||||||
透射照明 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
照明 | / | 勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 | / | / | / | 柯勒照明系統(tǒng)明場/內置濾色片 | / | / |
光源 | / | 12V/ 100W長壽命鹵素燈泡 | / | / | / | 12V/ 100W長壽命鹵素燈泡 | / | / |
聚光鏡 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | / | / | LWCD, N.A 0.65 | / | / |
載物臺 | 4x4"尺寸 210(W) X 170(D) mm,行程 104(X) X 102(Y) mm,金屬臺板，玻璃臺板 | |||||||
PA80MET & PA120MET 尺寸圖
