外置式氣體配比器,主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境,控制方式采用數(shù)字控制 精度高 抗干擾能力強 根據(jù)客戶要求隨意修改氣體。
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用CS200或CS100質(zhì)量流量計,氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強,閥門采用高壓球閥做截止閥,氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
1. 半導體制造行業(yè)中氣體流量控制
2. 各種真空鍍膜設備;
3. 特種材料表面處理
4. 氣體燃燒控制
5. 混合配氣系統(tǒng)
6. 泄漏探測系統(tǒng)
7. 環(huán)境檢測與分析設備
8. 分析儀器的氣體流量計量與控制
9. 化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所。
外置式氣體配比器的技術參數(shù):
氣體通道 | 2進1出(KT-C2ZS) | 3進1出(KT-C3ZS) | 4進1出(KT-C4ZS) |
可根據(jù)需求定制 | |||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制 | ||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1%F.S 普通型±1%F.S | ||
重復精度 | 高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S | ||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S. | ||
響應時間 | 高精度型≤1sec 普通型≤2sec | ||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||
功耗 | 40W | ||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||
時間設定 | 0-32000分鐘 | ||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設定值) | ||
壓力顯示 | 不銹鍘機械壓力表 | ||
氣體混合罐 | 有(內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻) | ||
流量累計 | 有(累計當前運行總流量) | ||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||
抗電磁干擾 | 有 | ||
外形尺寸 | 約500x380x380mm | ||
重量 | 18KG~20KG |