擴展折射率指數(shù)測量極限
● SENTECH 的反射儀的特點是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進行準(zhǔn)確的單光束反射率測量，光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對 n 和 k 進行重復(fù)測量，對粗糙表面進行測量及對非常薄的薄膜進行厚度測量。
紫外-近紅外光譜范圍
● RM1000 430?nm?–?930?nm
● RM2000 200?nm?–?930?nm
高分辨率自動掃描
● 反射儀 RM1000 和 RM2000 可選配 x-y 自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
● 反射膜厚儀 RM1000 和 RM2000 測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用 SENTECH FTPadv Expert 軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光-近紅外光譜范圍內(nèi)，可分析 5nm～50μm 厚度的單層膜、層疊膜和基片。
● RM1000 和 RM2000 代表 SENTECH 反射儀。臺式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺、光譜光度計和電源。它可以選配 x-y 自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
● 除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外，我們的反射儀還可測量薄膜（例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si）、防反射涂層（例如，紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感 GaN 器件上的防反射涂層），以及小型支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。
