寬光譜范圍和高光譜精度
● SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從 190nm（深紫外）到 3500nm（近紅外）。傅立葉紅外光譜儀 FTIR 提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá) 200μm 的厚膜。
沒有光學(xué)器件運(yùn)動(步進(jìn)掃描分析器原理)
● 為了獲得測量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學(xué)器件運(yùn)動。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是 SENresearch 4.0 光譜橢偏儀的一個特性。
雙補(bǔ)償器 2C 全穆勒矩陣測量
● 通過創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器 2C 設(shè)計擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器 SSA 原理，允許測量全穆勒矩陣。該設(shè)計是可現(xiàn)場升級和實現(xiàn)成本效益的附件。
SpectraRay/4 綜合橢偏儀軟件
● SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。
● SENresearch 4.0 是 SENTECH 新的光譜橢偏儀。每一臺 SENresearch 4.0 光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項和現(xiàn)場可升級附件而制造的。
● SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀 FTIR 測量至 2500 nm 或 3500 nm 的近紅外光譜。它提供了較寬的光譜范圍，具有信噪比，可選擇的光譜分辨率。可測量硅薄膜厚度高達(dá) 200 μm。傅立葉紅外光譜儀 FTIR 的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達(dá) 1700 納米。
● 新的金字塔形狀的自動角度計具有從 20 度到 100 度的角度范圍。光學(xué)編碼器支持精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可獨立移動，用于散射測量和角度分辨透射測量。
● SENresearch 4.0 根據(jù)步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理進(jìn)行操作。SSA 將強(qiáng)度測量與機(jī)械運(yùn)動分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應(yīng)用的快速測量模式。
● 定制的 SENresearch 4.0 橢偏儀可配置用于標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方。
