| VCF 真 空 碳 管 爐 | 型號 | VCF-48-21 | |
| 特 點 | 該設(shè)備可用于做碳沉積之類的CVD實驗，其具有以下優(yōu)點 1、溫度高，可達到2100℃ 2、安全，不會像管式爐出現(xiàn)斷管子的風險 3、腔體大，比管式爐處理的樣品體積大 4、加裝防爆閥，可及時將腔體內(nèi)多余氣體排出。 5、采用電容薄膜規(guī)測量真空度，測量結(jié)果更精準。 若用戶需要潔凈的環(huán)境，可選購我公司鎢絲爐或鉬絲爐，具體可咨詢我公司銷售 | ||
| 技術(shù)方案 |
1、一個石墨桶放在加熱區(qū)內(nèi)，石墨桶內(nèi)有兩個（也可定制其它數(shù)量）放物料的支架 2、氣體由下方進氣口進入石墨桶內(nèi)，經(jīng)過物料架，在襯底材料表面經(jīng)過化學反應形成固體沉積物，多余的氣體經(jīng)上方排氣口排出。 | ||
| 功率 | 48KW | ||
| 電源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
| 加熱溫度 | 2100℃ | ||
| 控溫模式 | 歐陸 3204 智能PID 5×16段程序控溫 | ||
| 加熱碳管尺寸(mm) | Dia200(內(nèi)徑）×320 | ||
| 有效加熱尺寸(mm) | Dia160×160 | ||
| 腔體真空度（擴散泵機組） | < 5×10 -3Pa | ||
| 腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||
| 升壓率 | <4Pa/小時 | ||
| 斷偶保護和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護 | 有 | ||
| 過流保護 | 有 | ||
| 欠壓保護（水壓） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1℃ | ||
| 溫度檢測方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
| 升溫速率 | < 20度/min | ||
| 真空腔體內(nèi)是否水冷 | 是 | ||
| 觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
| 外形尺寸 | 1.85*1.6*2米 | ||
| 防爆系統(tǒng) | 防爆系統(tǒng)由壓力變送器和防爆閥組成 壓力傳感器，可在壓力控制表上設(shè)置報警壓力，當爐管內(nèi)壓力大于等于設(shè)定的報警壓力時，防爆系統(tǒng)會自動啟動，并放出爐管內(nèi)多余的氣體。 防爆電磁閥由兩個方向相反的單向閥組成，無論是真空還是氣氛下都可以關(guān)的很好，不漏氣，不回流。 壓力變送器 防爆閥 | ||
| 冷水機（選配） | 8P | ||
| 真 空 機 組
| 機組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40×1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
| 前級真空泵 VRD-60 | 功率 | 2.5KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||
| 進氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機泵抽氣速率（L/S） | 15 | ||
| 極限壓強 | 4×10 -2Pa | ||
| 擴散泵TK200 | 電壓 | 220V | |
| 功率 | 2000W | ||
| 進氣接口 | DN200 | ||
| 出氣接口 | DN40 | ||
| 注入油量 | 0.4L | ||
| 抽氣速率（N2） | 2000L/S | ||
| 復合真空計
| 復合真空計型號 | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
| GX 供 氣 系 統(tǒng) 主 要 參 數(shù)
| 質(zhì)量流量計
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） |
| 耐壓 | 3MP | ||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | ||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | ||
| 線性 | ±0.5%F.S. | ||
| 重復精度 | ±0.2% F.S | ||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | ||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||
| 工作溫度 | 5-45℃ | ||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | ||
| 冷水機
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | |
| 制冷量 | 18.3*10³kcal/h | ||
| 輸入總功率 | 12KW | ||
| 揚程 | 50M | ||
| 流量 | 12m3/h | ||
| 水箱容量 | 130L | ||
| 外形尺寸 | 730×1335×1415 | ||
| 凈重 | 285KG | ||
一：設(shè)備特點
本電爐為周期作業(yè)式，廣泛應用于功能陶瓷，光學材料，碳復合材料，硬質(zhì)合金，粉末冶金等在高溫真空條件下進行燒結(jié)處理，也可在充氣保護情況下成型燒結(jié)。
二、結(jié)構(gòu)組成
1.爐體 2.爐蓋 3.爐底 4.爐架 5.真空系統(tǒng)
6.溫控系統(tǒng) 7.氣路系統(tǒng) 8.變壓器及聯(lián)接電纜 9.水冷系統(tǒng) 10.發(fā)熱元件及隔熱屏
三、結(jié)構(gòu)說明
1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為不銹鋼（1Cr18N9Ti）拋光，外層為優(yōu)質(zhì)碳鋼，上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu)，法蘭平面開設(shè)密封槽。采用“O”圈真空密封，并設(shè)水冷裝置（防止因溫度過高“O”圈老化）。開設(shè)有抽氣、熱電偶、紅外孔等。
2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu)，設(shè)有觀察孔，屏蔽、鎖緊、開啟裝置，并通水冷卻。
3、爐底：同樣采用雙層水夾層封頭結(jié)構(gòu)，設(shè)有電極引出裝置，支撐平臺等，并設(shè)有水冷裝置。
4、爐架：由型鋼及鋼板組焊成箱式結(jié)構(gòu)，爐體安放在箱體上，美觀大方。
5、真空系統(tǒng)：由壹臺TK-200擴散泵配冷阱，壹臺VRD-60機械泵、手動高真空擋板閥、真空壓力表（±Pa）、充氣閥、放氣閥和真空管路等組成。機械泵采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動），真空度的測量采用數(shù)顯復合真空計。
6、溫控系統(tǒng)：采用可控制硅控溫，儀表為歐陸溫控表，具有P.I.D調(diào)節(jié)、超溫聲光報警功能，電器元件采用正泰品牌，電控屏箱按西門子標準制作，控溫精度高，操作方便。
7、氣路系統(tǒng)：在整個系統(tǒng)中設(shè)有1個進氣口、1個放氣口，可充氣氛。
8、電氣控制：采用可控硅控溫，配有大電流變壓器、調(diào)壓器及溫度控制儀表組成溫度控制執(zhí)行回路。電路設(shè)有斷水、過流、超溫報警及保護功能。
9、水冷系統(tǒng)：由各種管道閥等相關(guān)裝置組成，具有斷水聲光報警自動切斷電源功能。
10、變壓器及聯(lián)接電纜：采用與之相匹配的變壓器及聯(lián)接電纜。
11、發(fā)熱元件及隔熱屏：發(fā)熱元件采用電極石墨加工成圓筒形的結(jié)構(gòu)，隔熱屏采用石墨、碳氈、石墨氈（1層石墨筒，4層碳毪和4層石墨氈，每層厚10mm以上），保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好，可快速加熱和冷卻。保溫層和發(fā)熱分體，易維護和取裝，保溫套外用不銹鋼框架支撐，固定。
