KLA D-300 探針式表面輪廓儀
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
設(shè)備特點
· 臺階高度：幾納米至1000μm
· 低觸力：0.5至15mg
· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
主要應(yīng)用
· 臺階高度：2D臺階高度
· 紋理：2D粗糙度和波紋度
· 形式：2D翹曲和形狀
· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域
· 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
· SIMS：二次離子質(zhì)譜
· LED：發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
· 汽車
· 醫(yī)療設(shè)備
