產(chǎn)品用途
BX150T工業(yè)金相顯微鏡是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)需求而開(kāi)發(fā)的。作為高級(jí)金相顯微鏡用戶在使用時(shí)能夠體驗(yàn)其性能，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測(cè)，可觀察較厚的標(biāo)本。穩(wěn)定、高品質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng)使成像更清晰，襯度更好。符合人機(jī)工程學(xué)要求的設(shè)計(jì)，使您在工作中感到舒適和放松。
| 技術(shù)規(guī)格 | ||
| 觀察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm） | |
| 目鏡 | WF10×/25mm | |
| WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | ||
| 物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作 距離明暗場(chǎng)物鏡：5×/0.1B.D/W.D.29.4mm、 | |
| 10×/0.25B.D/W.D.16mm、 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 、 | ||
| 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | ||
| 轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔五孔轉(zhuǎn)換器 | |
| 平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) | |
| 平臺(tái)尺寸: 190mm×140mm | ||
| 移動(dòng)范圍：50mm×40mm | ||
| 濾色片 | 插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性） | |
| 調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm | |
| 光源 | 帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié) | |
| 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、 檢偏鏡均可移出光路 | |
| 檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)量尺 | |
| 可供附件 | 二維測(cè)量軟件 | |
| 專業(yè)金相圖像分析軟件 | ||
| 鹵素?zé)?2V/100W | ||
| 測(cè)微目鏡 | ||
| 130萬(wàn)、200萬(wàn)、300萬(wàn)、500萬(wàn)像素CMOS電子目鏡 | ||
| 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 | ||
| 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | ||
| 精密載物臺(tái):X-Y行程25mm×25mm,移動(dòng)精度＜5um,數(shù)顯手輪最小值:0.1um,360°旋轉(zhuǎn)盤(pán) | ||
| 攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | ||
| DIC（10×、20×、40×、100×） | ||
| 壓平機(jī) | ||
| 彩色1/3寸CCD 520條線 | ||
特點(diǎn)說(shuō)明
1、 UIS無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)。
2、 采用長(zhǎng)壽命鹵素?zé)艄庠吹?，光效率更高?
3、 明暗場(chǎng)、偏光、微分干涉功能。
4、采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
5、 WF10×（Φ25）超大視野目鏡、長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
6、可插DIC微分干涉裝置的五孔轉(zhuǎn)換器。
DIC:用諾曼斯基微分干涉襯比法觀察，現(xiàn)己被認(rèn)為檢驗(yàn)材料、金屬和半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的手段。
