等離子刻蝕機:
用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機內(nèi)置高純石英倉體,容積為2升。采用了新型的外觀結(jié)構(gòu)設計和固態(tài)電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗
*對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進行超AA清洗。
*改變某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
*清除金屬材料表面的氧化層。
*對被清洗物進行消毒、殺菌。
優(yōu)點:
具有性能穩(wěn)定,性價比高,操作簡便,使用成本低,易于維護的特點。對各種幾何形狀,表面粗糙程度各異的金屬,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面進行超清洗和改性,清除樣品表面的有機染物。
等離子刻蝕機 KT-G1DQX
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤50Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | Φ100mmX200mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 20轉(zhuǎn)/分鐘 |
氣體流量 | 0—300ml/min |
過程控制 | 手動控制 |
清洗時間 | 手0-999秒 |
外形尺寸 | 615X390X560mm |
重量 | 56Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。
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