用途和特點(diǎn):
XQ15-G2數(shù)字式激光平面干涉儀可廣泛適用于計(jì)量實(shí)驗(yàn)室對(duì)高精度平面的平面度檢測(cè)和鑒定。能根據(jù)不同的要求打印出各種平面度測(cè)試的彩色等高圖以及三維立體透視圖。并給出波峰波谷值(PV),面形誤差(Em),均方根值(Rms),光圈數(shù)等面形評(píng)價(jià)參數(shù)。人體溫度對(duì)測(cè)量可靠性的影響為最小。
儀器的配套性:
改型的XQ15-G1激光平面干涉儀、1/3英寸CCD、14″監(jiān)視器、掃描驅(qū)動(dòng)器、驅(qū)動(dòng)器電源、電腦、EPSON720彩色打印機(jī)。
電腦配置要求:CPU PⅢ以上,128兆內(nèi)存,16兆顯存顯卡,視頻捕捉卡。
技術(shù)參數(shù):
標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ146mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D2=Φ140mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準(zhǔn)直系統(tǒng)-----------------工作直徑Φ146mm,焦距 f = 400mm
光源規(guī)格-----------------激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm