規(guī)格 | CV-2100M4 | CV-2100N4 | |||||||||||||||||
測(cè)量范圍 | X軸 | 100mm | |||||||||||||||||
Z1軸 (檢出器) | 50mm | ||||||||||||||||||
上下移動(dòng)量 (Z軸立柱) | 350mm | — | |||||||||||||||||
X軸傾角范圍 | ±45º | ||||||||||||||||||
分辨力 | X軸 | 0.1 µm | |||||||||||||||||
Z1軸 | 0.1 µm | ||||||||||||||||||
驅(qū)動(dòng)方式 | X軸 | 電動(dòng) (0 - 20mm/s) | |||||||||||||||||
上下移動(dòng) (Z軸立柱) | 手動(dòng) (快速上下動(dòng)、微動(dòng)) | — | |||||||||||||||||
測(cè)量速度 | 0.02~5mm/s | ||||||||||||||||||
直線度 (X軸水平位置時(shí)) | 2.5 µ m/100mm | ||||||||||||||||||
指示精度 (20ºC) | X軸 | ± (2.5+0.02L) µm L:測(cè)量長(zhǎng)度 (mm) | |||||||||||||||||
Z1軸 | ±(2.5+|0.1H|) µm H=為水平位置上的測(cè)量高度±25mm以內(nèi) | ||||||||||||||||||
測(cè)量方向 | 向前/向后 | ||||||||||||||||||
測(cè)量面方向 | 向下 | ||||||||||||||||||
測(cè)力 | 30± 10mN (3gf) | ||||||||||||||||||
測(cè)針跟蹤角度(以標(biāo)準(zhǔn)配件測(cè)針為例) | 向上77º、向下87º (根據(jù)表面粗糙度而定) | ||||||||||||||||||
尺寸 (幅度×深度×高度) | 745 ×450 ×885mm | 651 × 143 × 138.5mm | |||||||||||||||||
重量 | 145.8 kg | 5.8 kg |