熱式氣體質(zhì)量流量控制器
MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu),即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產(chǎn)品特點
精準質(zhì)量流量測量/控制
快速響應(yīng)、高重復(fù)性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大:0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍 0.5%F.S.(1:200)
控制范圍 1%-1 00% FS.(1:100)
準確度 ±1% F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應(yīng)時間 <3 秒
預(yù)熱時間 5 min(T95),30 分鐘
閥門 常閉式