上海微小氣體質(zhì)量流量控制器 MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無(wú)需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
介質(zhì)要求 潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測(cè)量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. (1:500)
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門 常閉式