TEM用親水性/疏水性氮化硅窗口
技術(shù)參數(shù):
親水性: 低應(yīng)力氮化硅薄膜上鍍有5nm厚度的親水涂層
疏水性: 低應(yīng)力氮化硅薄膜上鍍有5nm厚度的疏水涂層
表面能:
表面 | 表面能 (mJ/m2) | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 |
氮化硅薄膜 | 46.1 | 4.3 |
親水涂層 | 76.1 | 2.2 |
疏水圖層 | 24.6 | 4.4 |
表面粗糙度:
表面 | 表面粗糙度 (nm) | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 |
氮化硅薄膜 | Rq=0.65 | 0.06 |
親水涂層 | Rq=0.57 | 0.04 |
疏水涂層 | Rq=0.66 | 0.03 |
Rq=表面粗糙度; Ra= 平均粗糙度 |
氮化硅薄膜窗規(guī)格
窗口類型 | 薄膜厚度 | 窗口尺寸 | 框架尺寸 | 框架厚度 |
50nm | 單窗口,500x500µm | Φ3mm | 200µm | |
200 nm | 單窗口,500x500µm | Φ3mm | 200µm | |
15 nm | 3x3,9窗口, 窗口100x100µm | Φ3mm | 200µm |
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