D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計用于要求對液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應(yīng)時間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保(高純度和泄漏完整性)。*的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量,同時液體溫度僅上升5度,此外,D2000i的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
液體流量計和控制器技術(shù)參數(shù)
流量范圍 : P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇(IPA)來標(biāo)定的,在測量其它液體介質(zhì)時需要乘以一個校正系數(shù),具體請參考表一
響應(yīng)時間 : P2000i系列 : 2s( 設(shè)定點(diǎn)的2%之內(nèi) )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之內(nèi) )
精度和線性 :± 1%滿量程(P2000i系列);±1%讀數(shù)(D2000i系列)
重復(fù)性 : P2000i系列:<±0.2%滿量程(任意連續(xù)溫度下)
D2000i系列:<±0.2%讀數(shù)
量程比: P2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
D2000i系列:20:1(5%-100%滿量程)
zui大操作溫度 : 40℃(104℉)
zui大操作壓力: 125PSIG
溫度系數(shù) :< 0.1%/℃
>設(shè)定點(diǎn)輸入 /流量輸出信號 : 0-5VDC/0-5VDC(輸出流量信號時:需zui小2KΩ電阻)
供電電源 :﹢ 15VDC±10%(電流消耗<200mADC時)
泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s He
預(yù)熱時間: 10分鐘(P2000i系列);20分鐘(D2000i系列)
電氣連接 : 9針D型
入口 /出口過程連接 : 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥 :壓電式常開
內(nèi)置容積 :< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量 :≤ 0.68Kg
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體: 316LSS
傳感器組件 : 316LSS
閥構(gòu)成部件 : 316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型環(huán):316LSS