技術指標
· 流量范圍:5SCCM到10SLPM N2
· 響應時間:1~2秒
· 精度和線性:±1%滿量程
· 重復性:±0.2%滿量程
· 量程比:50:1(2%-滿量程)(精度和控制)
· 環(huán)境和操作工作溫度:-10 ~70℃(+14-158℉)
· 溫度漂移:±0.05%滿量程/℃(零點)
±0.05%讀數(shù)/℃(量程)
· 壓力漂移:±0.1%/atm(相對于N2)
·設定點輸入/流量信號輸出:4-20mA/4-20mA(源)(200-750負載電阻,15-30Vdc環(huán)路電壓)
·供應電源:(3211和3271型,消耗電流﹤45mAdc;3201&3261型,消耗電流﹤250mAdc:+15(±5%)或+24(±15%)Vdc
·安裝方向:對位置不敏感
·預熱時間:10分鐘
·電氣連接:10英尺,22AWG,8針電源電纜
·入口和出口過程連接:閥組安裝(3261和3271型)或者卡套或金屬墊圈表面密封(3201&3211)
主體:316SS
傳感器組件:316SS
孔:316SS
閥構(gòu)成部件(接液) :302SS,316SS,430FSS,Sandvik®1802(MC)
過程連接(僅3201和3211型) :316SS