為了滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求，安裝了“SFT”**秀的75W高功率X射線管。
快速的對(duì)應(yīng)日益微小化的電子產(chǎn)品，更擴(kuò)大了X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的應(yīng)用。
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詳細(xì)信息
儀器簡(jiǎn)介：
技術(shù)參數(shù)：
主要特點(diǎn)：
為了滿足測(cè)量微小區(qū)域及高精度的需求，安裝了“SFT”**秀的75W高功率X射線管。
快速的對(duì)應(yīng)日益微小化的電子產(chǎn)品，更擴(kuò)大了X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)：
可測(cè)量元素：原子序數(shù)22（Ti）～83（Bi）
X射線源：小型空氣冷卻型高功率X射線管球（Mo靶）
管電壓： 50kV 管電流： 1.5mA Be 窗
濾波器：一次濾波器：Mo 二次濾波器：Co （自動(dòng)切換）
照射方式：上方垂直照射方式
檢測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm
圓形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm
安全性能：樣品室門(mén)自鎖功能、樣品防沖撞功能、自動(dòng)診斷功能
樣品圖像對(duì)焦方式：激光自動(dòng)對(duì)焦
樣品觀察：彩色CCD攝像頭 倍率光學(xué)器 鹵素?zé)粽彰?
樣品平臺(tái)大小及承重： SFT9300:240mm（W） ×170mm（D） 10kg
SFT9350:420mm（W） ×330mm（D） 5kg
SFT9355:700mm（W） ×600mm（D） 3kg
重量：SFT9300/SFT9350:125kg （不含電腦）
SFT9355:130kg（不含電腦）
修正功能：底材修正、已知樣品修正、人工輸入修正
測(cè)量報(bào)告書(shū)制作：配備MS-EXCEL® MS-WORD®（使用宏支持自動(dòng)制作測(cè)量報(bào)告書(shū)）
測(cè)量能譜與樣品圖像保存功能
主要特點(diǎn)：
1. 75W高功率X射線管
能夠提高X射線的生產(chǎn)效率，實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，有效縮短測(cè)量時(shí)間，只需過(guò)去的1/4
2. 超微小型準(zhǔn)直器
除了搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的50μm準(zhǔn)直器，還配備了測(cè)量微小部位用的15μm準(zhǔn)直器
對(duì)應(yīng)所選擇準(zhǔn)直器的實(shí)際X射線光束照射的尺寸，可以顯示在樣品畫(huà)面上
3. 倍率式光學(xué)系
可以準(zhǔn)確地對(duì)微小部分進(jìn)行對(duì)焦，還可以對(duì)應(yīng)各測(cè)量點(diǎn)間有高低的樣品
4. 實(shí)現(xiàn)了高精度自動(dòng)X-Y-Z樣品臺(tái)與圖像處理軟件的高速自動(dòng)測(cè)量
5. 擁有防沖功能
6. 搭載高精度樣品平臺(tái)，更可測(cè)量大型線路板（SFT9355）
7. 自動(dòng)對(duì)焦功能
配備激光自動(dòng)對(duì)焦功能，能夠準(zhǔn)確對(duì)焦，提高測(cè)量效率。
8. 即時(shí)生成測(cè)量報(bào)告的便捷性
運(yùn)用搭載的Microsoft Word® Excel® 可以簡(jiǎn)單輕松得到制作報(bào)告。
9. 搭載了高功率X射線管
10. 擁有自動(dòng)測(cè)量軟件以及中心搜索軟件
11. 搭載了薄膜FP法軟件、圖像處理軟件以及塊體FP法軟件 1.可實(shí)現(xiàn)高精度幾高效率的微小樣品檢測(cè)zui小樣品尺寸直徑3.5um
2.容易決定微小測(cè)量部位
3.影像對(duì)焦系統(tǒng)
4.凹凸樣品的凹下部位的測(cè)量
5.再現(xiàn)性佳
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