美國SVT公司PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)
用于沉積金屬薄膜，氧化物薄膜，多元素材料薄膜的脈沖激光沉積系統(tǒng)，可以與多種薄膜制備設(shè)備連用。憑借多年的科研與實(shí)踐經(jīng)驗，我公司為許多科研用戶獨(dú)立打造了PLD-MBE連用系統(tǒng)，PLD-UHV Suptter連用系統(tǒng)等。
美國SVT公司PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)用于沉積金屬薄膜，氧化物薄膜，多元素材料薄膜的脈沖激光沉積系統(tǒng)，可以與多種薄膜制備設(shè)備連用。憑借多年的科研與實(shí)踐經(jīng)驗，我公司為許多科研用戶獨(dú)立打造了PLD-MBE連用系統(tǒng)，PLD-UHV Suptter連用系統(tǒng)等。
應(yīng)用：
ZnO材料功能薄膜
STO薄膜
金屬薄膜
超導(dǎo)薄膜
鐵電功能薄膜
功能陶瓷膜
技術(shù)參數(shù)：
超高真空E-10Torr
四／六靶靶臺 可公轉(zhuǎn),自轉(zhuǎn)
溫度加熱臺到1000oC
靈活的泵組合
線形運(yùn)動擋板
在線檢測系統(tǒng)（溫度,厚度）
配備高能量激光器
主要特點(diǎn)：
RF射頻等離子源（氧,氮）
升級高真空
增加進(jìn)樣室
升級為Laser-MBE （L-MBE）系統(tǒng)
自動軟件控制
提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,*的溫度控制解決方案.
www.spibj.com
