olympus MX61顯微鏡
MX61
奧林巴斯MX61/MX61L的特點
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡；為用戶提供高效率。
MX61適用于zui大200mm的樣本，而MX61L則可適用于zui大300mm的樣本。
1、大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。
3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以
MX61
奧林巴斯MX61/MX61L的特點olympus MX61顯微鏡
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡；為用戶提供高效率。
MX61適用于zui大200mm的樣本，而MX61L則可適用于zui大300mm的樣本。
1、大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。
3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求。
4、透射和反射照明可同時使用，*提高液晶基板觀察效果。
5、本信息來自上海富萊光學(xué)科技有限公司龍。
奧林巴斯MX61/MX61L顯微鏡的配置olympus MX61顯微鏡
型號 | OLYMPUSMX61L型顯微鏡 | ||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)） | ||
顯微鏡鏡體 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W鹵素?zé)襞荩A(yù)定心型） 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配） ，轉(zhuǎn)換使用內(nèi)置電動孔徑光闌（每個物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時自動轉(zhuǎn)換，暗視場觀測時自動打開） | |
觀測方法 | |||
①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光熒光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | |||
觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標(biāo)準(zhǔn)配置） 龍 | |
換鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動五孔明/暗視野法用轉(zhuǎn)盤，配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測：U-D5BDREMC型 | ||
載物臺 | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原裝日本*精機2軸電動平臺，可以進行XY軸同時聯(lián)動。 帶12寸晶圓載物臺板。 | ||
內(nèi)置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | |||
能耗 | |||
體積/重量 | 體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物臺約重31kg） | ||
