Kosaka ET150臺階儀
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本*家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定也占有一席無法被取代的地位。
KOSAKA ET150基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET150配備了各種型號探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
產(chǎn)品特點：
二次元表面解析，可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性
FPD面板顯示，可測定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質(zhì)材料
主要應(yīng)用---膜厚測量
制程機臺（如曝光機、濺鍍機、蝕刻機）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺階測量。
技術(shù)參數(shù)：
型號 | ET150 | |
zui大樣品尺寸 | φ160x48mm | |
樣品臺 | 尺寸 | φ160 |
傾斜度 | ±2°（X,Y手動） | |
承重 | 2Kg | |
檢出器 | 觸針力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
驅(qū)動 | 直動式（差動變壓器） | |
觸針 | R2μm 頂角60° | |
X軸 | zui大測長 | 100mm |
直線度 | 0.02μm/100mm | |
速度 | 0.005-20mm/s | |
重復(fù)性 | ±5μm（定位） | |
Y軸 | zui大測長 | 25mm/手動 |
Z軸 | zui大測長 | 50mm |
放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 |
水平 | 1-10000 | |
監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |
移動方法 | 手動 | |
輔助功能 | 教學(xué)、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |
應(yīng)用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |
重復(fù)性 | 1σ1nm | |
電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
外觀尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺） | |
