Hitachi型號S-4800場放射式掃描式電子顯微鏡的規(guī)格

1.分辨率：

加速電壓15KV

工作距離＝4.0mm ……………………………1.0nm

加速電壓1KV

工作距離＝1.5mm ………………………… 2.0nm

2.倍率：

高倍率模式 ………………………………… 100×到800,000×

低倍率模式 ………………………………… 30×到2,000×

3.電子光軸：

（1）電子槍…………………………………冷陰極場放射式

（2）引出電壓（Vext）……………………0到6.5KV

（3）加速電壓（Vacc）……………………0.5KV到30KV（100V/階段）

（4）鏡體……………………………………3-鏡臺電子磁控式鏡體，逐級收束式

（5）物鏡孔片………………………………可移動式孔片（4個開孔可選擇/鏡體外可調(diào)式）

（6）像散修正線圖

（像散修正器）………………………電子磁控式

（7）掃描線圈………………………………2-鏡臺電磁-偏向式

4.樣品臺

動作 S-4800 type I S-4800 type II

X方向移動（X） 0~50mm（連續(xù)） 0~110mm（連續(xù)）

Y方向移動（Y） 0~50mm（連續(xù)） 0~110mm（連續(xù)）

Z方向移動（Z） 1.5~30.0mm（連續(xù)） 1.5~40mm（連續(xù)）

傾斜（T） -50°~+70° -50°~+70°

旋轉(zhuǎn)（R） 360°（連續(xù)） 360°（連續(xù)）

樣品尺寸 zui大100mm（直徑）

（氣閥鎖定型樣品置換） zui大150mm（直徑）

（氣閥鎖定型樣品置換）

5.顯示單元

（1）顯示類型……………無閃爍計算機屏幕（全掃描速度時）

（2）顯示器………………18.1”LCD（21”彩色 CRT：可選）

（1280×1024畫素）

（3）照片CRT（附加）…超高分辨率類型

（有效觀察區(qū)域為：120×90mm）

（4）掃描模式……………普通掃描

縮小區(qū)域范圍

線掃描

點分析

平均濃度分析

分離/雙 倍率畫面

（5）掃描速度……………TV （640×480畫素：25/30圖框/秒）

Fast（全屏幕顯示：25/30圖框/秒）

Slow（全屏幕顯示：

1/0.9,4/3.3,20/16,40/32,80/64秒/圖框）

（640×480畫素顯示：

0.5/0.4,2/1.7,10/8,20/16,40/32秒/圖框）

For photograph（2560×1920畫素顯示

40/32,80/64,160/128,320/256秒/圖框）

Value of（50Hz）/（60Hz）

TV：NISC或PAL信號制式

（6）信號處理模式……………… 自動亮度調(diào)節(jié)

Gamma調(diào)節(jié)

自動聚焦

自動像散調(diào)整

（7）自動數(shù)據(jù)顯示………………圖像編號，加速電壓，放大倍率

比例尺，比例尺寸數(shù)值，日期/時間和

工作距離，均可在照片上打印出來