【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】近日，大連化物所催化基礎(chǔ)國家重點實驗室二維材料化學(xué)與能源應(yīng)用研究組(508組)吳忠?guī)浹芯繂T團隊與單細(xì)胞分析研究組(1820組)陸瑤研究員團隊，以及中國科學(xué)院深圳理工大學(xué)、中國科學(xué)院金屬研究所成會明院士等合作，開發(fā)了高精度的光刻、自動噴涂和3D打印技術(shù)，研制出具有高系統(tǒng)性能和高集成度的小型單片集成微型超級電容器。
 

　　為適應(yīng)小型化、可穿戴、可植入微電子設(shè)備的快速發(fā)展，需要發(fā)展具有小體積、高集成度、高性能和高兼容度的微型儲能器件。平面微型超級電容器由于無需隔膜和外部金屬連接線的特殊結(jié)構(gòu)，同時具有可靠的電化學(xué)性能和易于調(diào)控的連接方式，在微電子領(lǐng)域有著重要的發(fā)展?jié)摿?。然而，由于缺少可靠的高精度微電極陣列制備和高效的電解液精確沉積技術(shù)，大規(guī)模制備高集成度、高性能的微型超級電容器仍具挑戰(zhàn)。因此，急需發(fā)展創(chuàng)新性的微加工技術(shù)，來實現(xiàn)規(guī)?；?、穩(wěn)定性地制備高度集成、高性能、可定制的微型超級電容器。
 

　　本工作中，合作團隊發(fā)展了一種結(jié)合高精度的光刻、自動噴涂和3D打印技術(shù)的通用可靠策略，實現(xiàn)了高精度微電極陣列的大規(guī)模制備和凝膠電解質(zhì)精確快速添加，研制出具有高面積數(shù)密度、高輸出電壓、性能穩(wěn)定的集成化微型超級電容器模塊。團隊首先采用高精度光刻加工技術(shù)和高穩(wěn)定性自動噴涂技術(shù)，制備出超小型集成化微型超級電容器，單個器件的面積僅為0.018cm2，器件間距為600μm，實現(xiàn)了面積器件數(shù)密度為每平方厘米28個，即3.5×4.1cm2區(qū)域內(nèi)包含400個器件。隨后，團隊設(shè)計并發(fā)展了具有優(yōu)異流變特性的凝膠電解質(zhì)墨水，采用精確可控的3D打印技術(shù)，實現(xiàn)了極小區(qū)域內(nèi)電解質(zhì)的精確均勻添加，使得相鄰單元微器件之間形成良好的電化學(xué)隔離，所得集成化微型超級電容器可以穩(wěn)定輸出200V的高電壓，單位面積工作電壓達(dá)75.6V/cm2，是目前已有報到工作的最高值。此外，該微型超級電容器模塊在162V的極端工作電壓下，循環(huán)4000次后，仍然保持92%的初始容量。該工作為超小體積、高電壓微型功率源的發(fā)展奠定了一定的科學(xué)基礎(chǔ)。
 

　　相關(guān)研究成果以“Monolithic integrated micro-supercapacitors with ultrahigh systemic volumetric performance and areal output voltage”為題，于近日發(fā)表在《國家科學(xué)評論》(National Science Review)上。該工作的共同第一作者是我所508組博士后王森和1820組博士后李林梅。上述工作得到國家自然科學(xué)基金、中科院A類先導(dǎo)專項“變革性潔凈能源關(guān)鍵技術(shù)與示范”、大連市高層次人才創(chuàng)新支持計劃、中國博士后科學(xué)基金等項目的資助。(文/圖 王森、李林梅)