【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】由中國(guó)材料與試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)基礎(chǔ)與共性技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化領(lǐng)域委員會(huì)歸口承擔(dān)的《橢偏儀性能測(cè)試》(標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)編號(hào)CSTM LX 0000 00293—2019)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)已完成征求意見(jiàn)稿。按照《中國(guó)材料與試驗(yàn)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)制修訂管理細(xì)則》的有關(guān)要求，現(xiàn)公開(kāi)征求意見(jiàn)。
 

　　橢偏儀是測(cè)量微納米尺度薄膜厚度的主要方法之一，具有測(cè)量精度高、非接觸、無(wú)破壞且不需要真空等優(yōu)點(diǎn)，已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、光電子、材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中。膜厚的準(zhǔn)確測(cè)量，對(duì)器件制造的一致性和可靠性起著決定性作用。
 

　　因此，規(guī)范橢偏儀的性能測(cè)試，對(duì)保證儀器性能可靠和薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的意義重大。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了橢偏儀的性能測(cè)試方法，通過(guò)制定該標(biāo)準(zhǔn)，將統(tǒng)一橢偏儀的性能測(cè)試過(guò)程，對(duì)科學(xué)研究、高新產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品研發(fā)、質(zhì)量監(jiān)控具有指導(dǎo)作用，并推動(dòng)和促進(jìn)橢偏儀的推廣和應(yīng)用。
 

　　本文件參照GB/T 1.1-2020 《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》給出的規(guī)則起草。參考JJF 1059.1-2012 測(cè)量不確定度評(píng)定與表示；GB/T 31225-2014 橢圓偏振儀測(cè)量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法；ISO 23131:2021 Ellipsometry — Principles；IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies — A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films等規(guī)程內(nèi)容編制。
 

　　本文件規(guī)定了橢偏儀的性能測(cè)試項(xiàng)目和方法等。本文件適用于激光橢偏儀和光譜橢偏儀的性能測(cè)試。
 

　　方法原理：
 

　　橢偏儀是利用橢圓偏振光在被測(cè)樣品表面發(fā)生反射時(shí)的偏振變換，通過(guò)菲涅爾公式得到光學(xué)參數(shù)和偏振態(tài)之間的關(guān)系來(lái)確定被測(cè)樣品厚度和折射率。
 

　　外觀：
 

　　儀器上應(yīng)標(biāo)有名稱(chēng)、型號(hào)、出廠編號(hào)、生產(chǎn)廠家等儀器信息；儀器所有連接件應(yīng)連接良好，各調(diào)節(jié)旋鈕、按鍵和開(kāi)關(guān)均能正常工作。
 

　　測(cè)試條件：
 

　　環(huán)境溫度為(20~25)℃，使用溫度波動(dòng)范圍不超過(guò)±2℃。相對(duì)濕度≤60%。
 

　　儀器狀態(tài)調(diào)整：
 

　　儀器狀態(tài)調(diào)整包括光路的準(zhǔn)直和色散元件兩部分。光路的準(zhǔn)直性是光學(xué)儀器的最基本要求，如果一束光從入射到出射都沒(méi)有偏移，則認(rèn)為光路準(zhǔn)直；色散元件的調(diào)整則是基于儀器的組成和測(cè)量原理進(jìn)行的。不同廠家儀器的調(diào)整方法不同，參照儀器說(shuō)明書(shū)進(jìn)行。儀器調(diào)整后是否處于最佳狀態(tài)，以及測(cè)量結(jié)果是否準(zhǔn)確，需要標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)進(jìn)一步測(cè)試來(lái)檢驗(yàn)。
 

　　標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)選擇：
 

　　選擇覆蓋待測(cè)樣品厚度范圍的3種或3種以上不同厚度的膜厚國(guó)家有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，并盡可能均勻分布。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)編號(hào)及量值范圍參照但不限于附錄 A。
 

　　報(bào)告：
 

　　報(bào)告包含但不限于以下信息：1)委托方信息，包括名稱(chēng)、地址；2)測(cè)試儀器信息，包括生產(chǎn)廠家、型號(hào)、編號(hào)；3)測(cè)試依據(jù)文件的編號(hào)；4)測(cè)試日期，及測(cè)試人員；5)選用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)及其相關(guān)信息；6)測(cè)試條件，包括光譜范圍、入射角度、步長(zhǎng)、積分時(shí)間(對(duì)于光譜橢偏儀)；光源波長(zhǎng)、入射角度(對(duì)于激光橢偏儀)；7)膜厚測(cè)量示值誤差結(jié)果；8)膜厚測(cè)量重復(fù)性結(jié)果。
 

　　測(cè)試報(bào)告格式參見(jiàn)附錄 C。
 

　　更多詳情請(qǐng)見(jiàn)附件。