【儀表網 產業(yè)報道】近日，合肥市科技局發(fā)布了2022年度第一批市科技重大專項“揭榜掛帥”項目立項名單(共9項)，合肥物質院安光所光學遙感中心科研團隊申報的“集成電路高精密套刻檢測光學系統(tǒng)研制及應用”項目成功上榜，獲最高資助經費500萬元。
項目團隊聚焦半導體前道檢測的關鍵技術問題，瞄準該領域骨干企業(yè)急需的高精密光學測量系統(tǒng)核心技術需求，發(fā)揮多學科交叉及工程設計優(yōu)勢，針對照明、成像和測焦三大模塊技術指標和任務，開展套刻量測設備中核心光學系統(tǒng)的研制，首次承擔“集成電路高精密套刻測量光學系統(tǒng)研制及應用”揭榜掛帥項目。
據悉，合肥市“揭榜掛帥”項目是針對科技發(fā)展戰(zhàn)略重大問題和基礎研究、核心技術薄弱環(huán)節(jié)，采取的科技創(chuàng)新舉措，有利于激發(fā)科技創(chuàng)新主體和廣大科技人員的創(chuàng)造潛能和創(chuàng)新效能，從而提高科技攻關的質量和效率。
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