【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報(bào)道】近日，江蘇省計(jì)量院由長度所牽頭申報(bào)的“高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備與溯源研究”獲批立項(xiàng)國家市場監(jiān)督管理總局科技計(jì)劃項(xiàng)目。
該項(xiàng)目面向半導(dǎo)體領(lǐng)域，重點(diǎn)針對MEMS器件、TSV封裝中高深寬比微結(jié)構(gòu)的測量，解決各類型測量儀器設(shè)備的線寬、深度參數(shù)尺度無法統(tǒng)一、精度無法溯源問題，開展高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板的制備和溯源研究。
高深寬比微結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)樣板將滿足技術(shù)方案各異、工作原理不同的高深寬比微溝槽、TSV高深寬比微孔槽無損測量儀器設(shè)備的精確校準(zhǔn)需求，實(shí)現(xiàn)對深度、線寬等關(guān)鍵尺寸的科學(xué)溯源。
該科研項(xiàng)目致力于服務(wù)我國在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)自主研發(fā)的高深寬比微結(jié)構(gòu)無損測量儀器在全球市場的技術(shù)準(zhǔn)入，有助于破解半導(dǎo)體量測設(shè)備被國外廠商壟斷的不利局面，推動我國實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展。
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