“硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無損測量技術(shù)”是國家重點研發(fā)計劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項，項目由南京理工大學(xué)牽頭申報，上海計量院與浙江大學(xué)、中國電子科技集團公司第十三研究所作為主要課題負責(zé)單位參與申報，上海計量院負責(zé)課題三“測量系統(tǒng)的量值溯源、校準(zhǔn)與誤差補償”。項目將研制硅基MEMS高深寬比結(jié)構(gòu)的智能化快速無損測量系統(tǒng)，通過專用工藝線接口，實現(xiàn)在超凈環(huán)境下3種工藝線上的驗證測量。
“跨尺度微納米三坐標(biāo)測量基礎(chǔ)理論與技術(shù)”是國家重點研發(fā)計劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項，項目由合肥工業(yè)大學(xué)牽頭申報，上海計量院與哈爾濱工業(yè)大學(xué)、304所、中科院微電子所、中國計量大學(xué)作為主要課題負責(zé)單位參與申報，上海計量院負責(zé)課題三“非接觸納米定位技術(shù)”。項目將研究三維納米位移和定位的測量理論與技術(shù)，研制高分辨力三維組合納米測頭、微納米三坐標(biāo)測量機樣機，在精密微型零件加工和微納制造領(lǐng)域進行試驗驗證。
國家重點研發(fā)計劃事關(guān)產(chǎn)業(yè)核心競爭力、整體自主創(chuàng)新能力和國家安全的重大科學(xué)技術(shù)問題，旨在突破國民經(jīng)濟和社會發(fā)展主要領(lǐng)域的技術(shù)瓶頸。上海計量院此次的成功申報，無論在項目的質(zhì)量和數(shù)量上，還是在研究內(nèi)容、經(jīng)費規(guī)模及合作上都有創(chuàng)新和突破。上海計量院將打破原有思維模式，積極探索跨行業(yè)、跨單位、跨部門的科技項目合作模式，聯(lián)合國內(nèi)著名高校、科研院所和協(xié)同創(chuàng)新，全力以赴建設(shè)與上海張江綜合性國家科學(xué)中心相適應(yīng)的質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)平臺。
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