當臭氧系統(tǒng)停機時，臭氧進氣端的進氣開關(guān)閥和臭氧出氣端的自動調(diào)節(jié)閥將關(guān)閉，同時在進氣端與出氣端分別配有手動球閥，防止自動閥門失效不能關(guān)閉及調(diào)節(jié)。臭氧制備間內(nèi)安裝臭氧/氧氣泄漏報警儀。當臭氧制備間內(nèi)環(huán)境中臭氧/氧氣泄露超標時，由臭氧/氧氣泄露報警儀檢測發(fā)出報警、啟動排氣風扇（排風扇由用戶自備），在報警后1-10分鐘內(nèi)（用戶設(shè)定）故障尚未排除將自動切斷本房間相關(guān)設(shè)備電源。臭氧接觸池設(shè)置尾氣破壞器，池子內(nèi)的尾氣經(jīng)除霧器去除水霧與水滴后，進入尾氣破壞器反應(yīng)罐。尾氣破壞器采用加熱催化的方式將臭氧分解，整個尾氣破壞裝置的控制由尾氣破壞箱控制。經(jīng)臭氧尾氣破壞裝置的出口氣體臭氧濃度小于0.1ppm，可直接排放到大氣中。