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大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境均可)BTF-1200C-III-SL-4ZL

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地合肥市

聯(lián)系方式:董經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-11-12 12:42:27瀏覽次數(shù):102次

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大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)(低真空、高真空環(huán)境均可)BTF-1200C-III-SL-4ZL

  技術(shù)參數(shù)

BTF-1200C-III-SL-4ZL

尺寸

1080×440×590mm ( 爐子)/2000×490×760mm ( 爐子+滑軌)

爐管尺寸

Ø50/Ø60/Ø80/Ø100/Ø130*2330mm(各管徑可選)

加熱區(qū)長度

300+300+300mm(900mm)

恒溫區(qū)長度

500mm

工作溫度

1100℃

溫度

1200攝氏度

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度

±1℃

推薦升溫速率

10-20℃/min

額定電壓

AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

額定功率

7KW

供氣系統(tǒng)

外形尺寸

600x600x650mm

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

100、200、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)

準確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S

重復精度

±0.2%F.S.

響應時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

低真空機組

工作環(huán)境

5℃~40℃

空氣相對濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

 

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