日本MRM回吸閥MSV, MLSV

日本MRM回吸閥MSV, MLSV

回吸閥 (Suck back Valves)

調整手閥可控制回吸量。

配管時更省空間。

接流體部全部都是氟化乙烯樹脂(PFA/PTFE)，抗腐蝕。

超低粉塵處理(表面粗糙度加工、精密洗浄、積液少設計)。

使用流體 (Fluid) 化學品?純水?氣體 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※2

流體溫度 (Fluid temperature range) 10?100℃

雰囲気溫度 (Atmospheric temperature) 0?40℃

液體流動部分的材質 (Materials of liquid flowed parts)

本體 (Body) : PTFE

薄膜 (Diaphragm) : PTFE

操作方式 (Operating system) 單動式 (Spring return actuation)

操作圧力 (Pneumatic supply pressure) 0.35?0.6MPa

最大回吸量 (Amount of maximum suction) 0.12?0.13cc

閥門尺寸 (Valve size) 6 (1/8") 4TF3 8 (1/4")

流通孔(Orifice) Φ5 Φ5 Φ5

流體圧力 (Fluid pressure range)

0.5MPa規(guī)格

(0.5MPa specification)

IN→OUT 0?0.5MPa

背圧 (Back pressure) 0?0.4MPa