控制器
FMA-A2000系列電子質(zhì)量流量計/控制器性能出眾、 功能多樣、設(shè)計先進(jìn)、外形緊湊。FMA-A2000利用毛細(xì)管式熱感技術(shù)直接測量氣體的質(zhì)量流量。無需進(jìn)行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300/2400系列配備LCD顯示屏,并且所有型號都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。
FMA-A2000測量0 ~ 100 SLM之間24個量程的氣體質(zhì) 量流量。要查看完整列表,請參閱下一頁的量程表。 FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對照氣體相容性檢查接液材料。
OMEGA的質(zhì)量流量控制器利用內(nèi)部電磁比例閥控制質(zhì)量流量??梢酝ㄟ^內(nèi)部電位器設(shè)定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號精度: 滿量程的±1%(包括線性度)
重復(fù)性: 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
響應(yīng)時間: 5秒
氣體環(huán)境溫度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數(shù): 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數(shù): 每psi為滿量程的0.01%或更佳
壓力要求:
流量計: 1英寸水柱
大流速為1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
質(zhì)量流量控制器的壓差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(標(biāo)準(zhǔn))
>5 LPM,20 ~ 40 psi(標(biāo)準(zhǔn))
氣體大壓力:
聚甲醛: 250 psig
316不銹鋼: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件: