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53次HYDAC賀德克壓力傳感器HDA8400是利用單晶硅的壓阻效應而構成的。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被側壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
賀德克壓力傳感器的分類:
多傳感器信息融合技術的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣,將各種傳感器進行多層次。多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理,較終產生對觀測環(huán)境的一致性解釋。在這個過程中要地利用多源數(shù)據(jù)進行合理支配與使用,而信息融合的較終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息,通過對信息多級別,多方面組合導出更多有用的信息。這不僅利用了多個傳感器相互協(xié)同作的優(yōu)勢,而且也綜合處理了其他信息源的數(shù)據(jù)來提高整個傳感器系統(tǒng)的智能化。
壓力傳感器是使用較為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大,質量重,不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是,體積小,質量輕,準確度高,溫度性特好。
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