20 世紀(jì) 60 年代初期，科學(xué)家已發(fā)現(xiàn)金屬氧化物半導(dǎo)體（MOX）薄膜能夠用 于氣體濃度傳感。直到 70 年代初期，日本費(fèi)加羅公司創(chuàng)始人 Taguchi 發(fā)明了世 界上第一個(gè)可以進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用的 SnO2 薄膜半導(dǎo)體氣體傳感器，用于檢測(cè)低濃度 的可燃性或者還原性氣體，并命名為 TGS（Taguchi Gas Sensor）。

 此后，各種不同的金屬氧化物半導(dǎo)體材料被開發(fā)出來，氣敏元件制作工藝也 從手工涂覆發(fā)展到厚膜印刷、MEMS 工藝等，實(shí)現(xiàn)了氣體傳感器的小型化、低 功耗和大批量制造，產(chǎn)品一致性得到很大提高。半導(dǎo)體氣體傳感器以往主要應(yīng)用 于報(bào)警器；隨著 MEMS 技術(shù)的發(fā)展以及敏感材料性能的進(jìn)一步提高，目前 基于 MEMS 工藝制備的 MOX 技術(shù) VOC 氣體傳感器及空氣品質(zhì)氣體傳感器 （AQS：用于測(cè)量 CO、NO2、NH3 等）已經(jīng)廣泛應(yīng)用于空氣凈化器、暖通空調(diào) （HVAC）以及汽車空氣循環(huán)控制等領(lǐng)域。

 在 20 世紀(jì) 60 年代中期，針對(duì)半導(dǎo)體氣體傳感器存在選擇性和穩(wěn)定性不理想 的問題，熱催化氣體傳感器得到快速發(fā)展，并成為可燃?xì)怏w監(jiān)測(cè)特別是煤礦瓦斯 監(jiān)測(cè)的重要選擇。此后主要?dú)怏w傳感器廠家都開始生產(chǎn)熱催化原理的可燃?xì)怏w傳 感器。我國是世界上主要的煤炭生產(chǎn)國，國家在多個(gè)五年計(jì)劃中都提出對(duì)高性能 的催化燃燒氣體傳感器進(jìn)行科技攻關(guān),使得我國成為催化燃燒氣體傳感器主要研 發(fā)、生產(chǎn)和銷售國家，技術(shù)水平和產(chǎn)品性能與水平相當(dāng)。該類體傳感器需要 依托足夠氧氣進(jìn)行催化燃燒，因此在無氧環(huán)境下可能無法檢測(cè)任何可燃性氣體。同時(shí)，某些含鉛化合物、硫化合物、硅烷、磷化合物、鹵代烴等參與催化燃燒反 應(yīng)后可能造成氣體傳感器中毒失效。

工業(yè)過程釋放出大量低濃度的有毒、有害氣體，如 CO、H2S 等，半導(dǎo)體及 催化燃燒氣體傳感器無法對(duì)其準(zhǔn)確測(cè)量和報(bào)警，而具有良好選擇性和高靈敏度的 電化學(xué)氣體傳感器則可以實(shí)現(xiàn)上述目的。以往電化學(xué)氣體傳感器需要使用比較昂 貴的金屬作為催化劑，且使用壽命有限，一般不超過兩年。近年來可印刷的長(zhǎng)壽 命電化學(xué)氣體傳感器問世，具備更小體積和更長(zhǎng)壽命。 

英國和德國是上電化學(xué)氣體傳感器的主要生產(chǎn)國家，其中英國以劍橋大 學(xué)為中心形成了諸多電化學(xué)氣體傳感器公司。目前，我國已經(jīng)成為上電化學(xué) 氣體傳感器的主要市場(chǎng)，自主品牌電化學(xué)氣體傳感器企業(yè)也不斷涌現(xiàn)，技術(shù)水平 持續(xù)提高，初步具備了與品牌進(jìn)行市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的能力。 

隨著建筑節(jié)能的發(fā)展，新風(fēng)系統(tǒng)需要根據(jù) CO2 含量進(jìn)行準(zhǔn)確的新風(fēng)控制， 用于保證建筑的舒適性和經(jīng)濟(jì)性，從而對(duì)低成本、高可靠性的 CO2 氣體傳感器 提出市場(chǎng)需求。隨著熱電堆、熱釋電原理紅外探測(cè)器實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，紅外 CO2 氣體傳感器的生產(chǎn)成本大幅下降并得以快速普及。同時(shí)，針對(duì)催化燃燒氣體傳感 器測(cè)量可燃?xì)獾娜秉c(diǎn)，采用紅外技術(shù)的微型甲烷、丙烷氣體傳感器應(yīng)運(yùn)而生，且 具有精度高、壽命長(zhǎng)、不需要氧氣參與的優(yōu)勢(shì)，可在部分應(yīng)用領(lǐng)域快速替代催化 燃燒氣體傳感器。 

近年來，隨著霧霾問題的出現(xiàn)，空氣凈化器市場(chǎng)快速發(fā)展，粉塵傳感器需求 持續(xù)增長(zhǎng)。國內(nèi)公司在激光粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)基礎(chǔ)上快速開發(fā)出低成本的、可顯示 濃度數(shù)值的光學(xué)粉塵傳感器。目前，國產(chǎn)光學(xué)粉塵傳感器特別是激光粉塵傳感器 占據(jù)了主要*。